高端光刻机辅助设备运维技师（初级）考试试卷及答案.docVIP

高端光刻机辅助设备运维技师（初级）考试试卷及答案

一、填空题（每题1分，共10分）

1.光刻机辅助设备中，负责工件台定位精度检测的核心部件是______。

2.辅助设备运维前，必须执行的第一步操作是______。

3.光刻机真空辅助系统的主要作用是______。

4.辅助设备中，针对高精度运动部件常用的润滑脂是______。

5.运维时发现设备异常，应立即______。

6.光刻机辅助设备的温度控制精度通常要求在______范围内。

7.负责传输晶圆的辅助设备是______。

8.辅助设备电气系统绝缘电阻检测应使用______。

9.运维过程中必须佩戴的个人防护装备（PPE）是______（至少1项）。

10.辅助设备预防性维护周期分为日检、周检和______。

二、单项选择题（每题2分，共20分）

1.光刻机真空系统常用的检漏气体是？

A.氧气B.氦气C.氮气D.氢气

2.晶圆传输机器人运动精度要求通常不低于？

A.±1μmB.±5μmC.±10μmD.±20μm

3.辅助设备中过滤微尘颗粒的部件是？

A.真空泵B.HEPA过滤器C.传感器D.控制器

4.清洁光学部件应使用？

A.酒精棉B.无尘布蘸高纯度异丙醇C.纸巾D.清水

5.辅助设备接地电阻应不大于？

A.1ΩB.4ΩC.10ΩD.20Ω

6.需立即处理的设备异常是？

A.轻微噪音B.温度波动±0.2℃C.真空度不达标D.正常指示灯亮

7.监测腔室压力的传感器是？

A.温度传感器B.真空规C.流量传感器D.位置传感器

8.真空泵油更换周期一般是？

A.1个月B.3个月C.6个月D.12个月

9.晶圆传输禁止的操作是？

A.轻拿轻放B.戴防静电手套C.直接用手接触D.专用夹具

10.红色报警代表？

A.警告B.故障C.紧急故障D.提示

三、多项选择题（每题2分，共20分）

1.辅助设备运维安全规范包括？

A.断电挂牌B.佩戴PPEC.酒后作业D.高空系安全带E.未授权操作

2.晶圆传输机器人常见故障有？

A.定位不准B.运动卡顿C.真空吸附失效D.电机过热E.指示灯损坏

3.真空系统组成部件包括？

A.真空泵B.真空规C.过滤器D.压力控制阀E.加热板

4.辅助设备温度控制方式有？

A.水冷B.风冷C.油冷D.电加热E.蒸汽加热

5.运维需记录的关键数据有？

A.真空度B.温度C.湿度D.运行时间E.零件更换记录

6.光学部件清洁注意事项有？

A.无尘环境B.专用清洁剂C.单向擦拭D.用力擦拭E.避光

7.辅助设备常见润滑点包括？

A.运动导轨B.轴承C.齿轮D.电机轴E.传感器

8.报警系统分类包括？

A.提示（绿色）B.警告（黄色）C.故障（橙色）D.紧急（红色）E.无报警（蓝色）

9.晶圆存储要求有？

A.防静电B.恒温恒湿C.无尘D.避光E.高压

10.日常检查项目包括？

A.电源连接B.气压表读数C.真空度D.过滤器状态E.电机温度

四、判断题（每题2分，共20分）

1.运维时可直接用手接触电气部件。（）

2.氦气检漏灵敏度最高。（）

3.机器人定位精度越高，产能越高。（）

4.温度精度越高，良率越高。（）

5.预防性维护无需记录。（）

6.清洁光学部件可用普通酒精。（）

7.接地电阻越大越安全。（）

8.真空度不达标需检查真空泵。（）

9.可随意修改设备参数。（）

10.机器人运动速度越快越好。（）

五、简答题（每题5分，共20分）

1.简述辅助设备运维前的安全准备工作。

2.简述晶圆传输机器人常见故障及排查方法。

3.简述真空系统日常维护要点。

4.简述温度控制系统维护注意事项。

六、讨论题（每题5分，共10分）

1.讨论如何提高辅助设备预防性维护效率？

2.讨论晶圆传输中静电防护的重要性及措施？

---

参考答案

一、填空题

1.激光干涉仪

2.断电挂牌（设备锁定）

3.维持腔室真空环境

4.全氟聚醚润滑脂（PFPE）

5.停止作业并上报

6.±0.1℃

7.晶圆传输机器人（EFEM）

8.兆欧表（摇表）

9.防静电手环（护目镜）

10.月检

二、单项选择题

1.B2.A3.B4.B5.B

6.C7.B8.C9.C10.C

三、多项选择题

1.ABD2.ABCD3.ABCD4.ABC5.ABCDE

6.ABCE7.ABCD8.BD9.ABCD10.ABCDE

四、判断题

1.×2.√3.√4.√5.×

6.×7.×8.√9.×10.×

五、简答题

1.安全准备工作：①断开设备电源并挂牌锁定，防误启动；②佩戴防静电手环、护目镜等PPE；③检查作业区消防器材及通道；④核对运维SOP，明确风险点；⑤高空/密闭作业需申请许可，配安全带/呼吸器；⑥无无关物品干扰。

2.常见故障及排查：①定位不准：校准激光干涉仪，调整关节参数；②运动卡顿：检查导轨润滑/杂质，更换磨