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摘要
电子特种气体(简称“电子特气”)是指用于半导体、平板显示及其它电子产
品生产中的特种气体,包含稀有气体、全氟碳化合物(PFC)和六氟化硫(SF)
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等气体,它们的纯化分离是分离产业中的挑战。金属-有机框架(Metal-Organic
Frameworks,简称MOFs)是一类固态多孔材料,已经被广泛应用于气体储存和
分离、能量储存、催
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