基于机器视觉的IC芯片光学微观形貌检测图像处理技术探索.docx

基于机器视觉的IC芯片光学微观形貌检测图像处理技术探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的浪潮中，IC芯片作为信息技术产业的核心与基石，已深度融入人们生活的方方面面，成为推动科技创新与社会进步的关键力量。从日常生活中不可或缺的智能手机、平板电脑，到支撑现代工业运转的自动化设备、智能机器人，再到引领未来发展的人工智能、大数据、物联网等前沿领域，IC芯片都扮演着举足轻重的角色，其性能与质量直接关乎各类电子设备和系统的运行效率、稳定性与可靠性。

随着信息技术的迅猛发展，对IC芯片的性能要求不断攀升。在芯片制造过程中，任何细微的缺陷或形貌偏差都可能引发芯片功能故障，进而对整