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全球市场研究报告
半导体POU纯化器是安装在工艺设备用气端口“最后一段管路”上的高纯气体末端净化装置,用于在气体
进入单台机台(如刻蚀机、CVD、ALD、曝光机等)之前,将微量杂质(如H₂O、O₂、CO/CO₂、HC、卤素、
金属杂质等)进一步降到ppb–ppt甚至更低水平。它通常串联在洁净干燥空气CDA、N₂、Ar、H₂以及各
类特气的供气管线上,内部通过金属吸附剂、分子筛、高比表面积多孔材料或贵金属催化剂等实现化学吸
附、物理吸附或催化分解,并配合超洁净内表面处理与低颗粒设计,将上游集中供气系统和管路可能带来的
微量污染、波动“拦截在机台前
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