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二极管制造工艺

早上走进车间，透过净化间的玻璃望向生产线，那些比米粒还小的二极管正在传送带上有序流转。这个被称为“电子工业基石”的小元件，从一块多晶硅到最终成品，要经历二十多道工序，每一步都像在鸡蛋壳上雕刻——容不得半分差错。作为在半导体制造行业摸爬滚打十年的工艺工程师，今天我想把这串“工艺密码”拆开揉碎，讲讲这些小芯片背后的大文章。

一、根基：从多晶硅到完美晶圆的蜕变

要造二极管，首先得有“地基”——半导体晶圆。就像建房子得先打地基，晶圆的质量直接决定了二极管的性能上限。我们车间用的是单晶硅晶圆，这得从多晶硅提纯说起。

多晶硅是从硅矿石里提炼出来的，但纯度只有99%左右，这可不够。得用西门子