半导体厂务项目工程管理 课件 项目4 动力系统的设计与维护.pptx

半导体厂务项目工程管理

项目四

动力系统的设计与维护

任务4-1工艺冷却水系统

工艺冷却水（PCW，ProcessCoolingWater）是半导体生产中为工艺设备提供冷却水的重要系统，其主要目的是通过循环冷却水，降低设备温度，防止设备过热损坏或影响生产效率。

PCW系统广泛应用于半导体前道、后道、LCD、PV（光伏）等电子行业，是保障生产顺利进行的关键设施之一。

【任务背景】

【任务背景】

【任务背景】

PCW系统设计分类有哪些呢？

开式系统

存在弊端，一般不采用

PCW系统设计分类有哪些呢？

闭式系统

常用

PCW系统设计分类有哪些呢？

膨胀水箱——闭式系统的关键，补水系统

PCW