半导体厂务项目工程管理 课件 项目4 任务4.2 工艺真空系统.pptx

半导体厂务项目工程管理

项目四动力系统的设计与维护

任务4-2真空系统

任务4-2真空系统【任务背景】什么叫做真空呢？真空与大气压对比真空是低于大气压的气体状态，大气压是地球表面空气柱产生的压力。

真空环境气体分子密度低，分子间距离大，与大气压下分子密集状态形成鲜明对比。真空中的分子行为真空中气体分子自由程长，碰撞频率低，运动轨迹近乎直线。

分子运动特性使真空在物理实验和工业应用中能减少气体干扰，如电子束焊接。真空的相对性绝对真空不存在，实际真空是相对的，可通过抽气等方式降低气体压强。

不同应用场景对真空度要求不同，如实验室高真空与工业粗真空差异大。

任务4-2真空系统【任务背景