半导体厂务项目工程管理课件项目8 任务8-4 化学品系统材质选用.pptx

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半导体厂务项目工程管理

项目八化学品分类

任务8-4化学品系统材质选用

任务8-4化学品系统材质选用【相关知识】系统材质及其特性1.不锈钢不锈钢是半导体制造中常用的材料，尤其是316L型不锈钢?。不锈钢具有高强度和韧性，能够承受高压和机械压力，确保管道系统的安全性和可靠性。同时不锈钢材质表面光滑，不易附着杂质，方便管道的清洗和保养。

任务8-4化学品系统材质选用【相关知识】系统材质及其特性2.?PFA?PFA（聚四氟乙烯）作为一种高性能的氟聚合物，因其化学兼容性、低吸附性和耐高温性能，在半导体制造过程中被广泛使用。PFA管道适用于高纯度化学品的输送，如蚀刻液、清洗液等；超纯水的输

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