半导体厂务项目工程管理 课件 项目9 任务9-2 超纯水系统的运行维护.pptx

半导体厂务项目工程管理

项目九纯水系统

任务9-2超纯水系统的运行维护

任务9-2超纯水系统的运行维护【任务背景】ASTMD5127终端指标说明超纯水终端水质指标序号指标名称单位要求1电阻率MΩ·cm≥18.22TOCμg/L≤23细菌cfu/L＜14溶解氧(DO)μg/L≤35颗粒度(≥0.1μm)个/L≤1006颗粒度(≥0.05μm)个/L≤3007总硅μg/L≤18溶解性硅μg/L《0.19Na+μg/L≤0.0110K+μg/L≤0.0111Bμg/L≤0.0512Cu2+μg/L≤0.0113Caμg/L≤0.0114Mgμg/L≤0.0115Zn2+μg/L≤0.011