半导体厂务项目工程管理 课件 项目3 任务3.3 FMCS监子系统逻辑控制.pptx

半导体厂务项目工程管理

项目三FMCS监控系统

任务3-3FMCS监控子系统逻辑控制

任务3-3FMCS监控子系统逻辑控制热水系统逻辑控制热回收机组（蓝色框）风冷模块热水机组（红色框）8台风冷模块热水机组作为一组设备，其总热量与单台热回收机组制热量相当，作为备机；两台热回收机组作为两组设备。三组设备均通过电动开关蝶阀控制启用和停用。系统中3台热水泵（绿色框）采用变频泵实现水泵的并联，互相作为备用。

任务3-3FMCS监控子系统逻辑控制热水系统逻辑控制那么如何开启热水系统将其投入生产呢？一般首先打开需要投产机组的热水电动阀，接着开启热水泵，最后开启热回收机组或者风冷模块热水机组。