半导体器件仿真：半导体物理基础_（16）.器件可靠性与老化仿真.docx

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2026-01-12 发布于辽宁
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器件可靠性与老化仿真

1.引言

在半导体器件的设计和制造过程中，可靠性与老化问题是至关重要的考虑因素。器件的可靠性和寿命直接影响其在实际应用中的性能和稳定性。随着半导体技术的不断发展，器件尺寸的不断缩小，材料的多样性增加，这些因素对器件的可靠性提出了更高的要求。因此，通过仿真工具预测和分析器件的可靠性与老化行为，成为了半导体行业的关键技术之一。

本节将详细介绍半导体器件可靠性与老化仿真的原理和方法，包括常见的老化机制、仿真模型、仿真工具的使用方法以及实际案例分析。通过本节的学习，读者将能够理解如何利用仿真工具预测和分析半导体器件的可靠性问题，为器件的设