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电子真空镀膜工工艺作业操作规程

文件名称：电子真空镀膜工工艺作业操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于电子真空镀膜工在进行镀膜作业时的安全操作。规程要求所有操作人员必须熟悉并严格执行本规程，确保作业安全、高效。操作人员应具备一定的专业知识和技能，严格遵守操作规程，确保自身和他人的安全。规程内容包括设备操作、物料处理、环境监测、应急处置等方面，旨在保障操作人员的人身安全和设备安全。

二、操作前的准备

1.个人防护：

操作人员必须穿戴符合规定的防护用品，包括但不限于：防静电工作服、防护眼镜、防尘口罩、手套、耳塞、防护鞋等。长发应束起，避免进入设备内部造成安全隐患。

2.设备检查：

a.检查真空镀膜设备是否处于正常工作状态，包括电源、真空度、泵工作状态、控制系统等。

b.检查设备各部件是否完好，特别是与真空度相关的部件，如阀门、管道、密封圈等。

c.检查设备清洁度，确保无异物和污染物。

3.环境检查：

a.检查工作区域是否通风良好，确保空气流通，避免有害气体积聚。

b.检查地面是否平整，无油污、水迹等，以防滑倒。

c.检查应急设备是否在位，如灭火器、急救箱等。

4.物料准备：

a.根据工艺要求准备所需材料，如镀膜材料、辅助材料等。

b.检查材料质量，确保符合工艺要求。

c.将材料放置在指定位置，便于操作。

5.工艺参数设置：

a.根据工艺要求设置真空度、温度、时间等参数。

b.确认参数设置无误，避免因参数错误导致设备损坏或产品质量问题。

6.电气安全：

a.检查设备电源线、插座等电气部件是否完好，无破损、老化现象。

b.确保操作过程中不接触带电部件，避免触电事故。

7.真空系统检查：

a.检查真空系统管道、阀门、泵等部件是否密封良好，无泄漏现象。

b.确保真空系统能够在规定时间内达到所需真空度。

8.操作培训：

a.操作人员应接受相关培训，熟悉设备操作流程和注意事项。

b.操作前应进行实际操作演练，确保熟练掌握操作技能。

三、操作的先后顺序、方式

1.操作顺序：

a.首先开启真空镀膜设备，逐步建立真空环境，确保真空度达到工艺要求。

b.在真空度稳定后，按顺序开启加热系统，逐步升温至设定温度。

c.将待镀膜材料放置在设备指定位置，确保材料放置稳固，避免在镀膜过程中移动。

d.启动镀膜材料输送系统，按照工艺要求进行材料输送。

e.开始镀膜过程，监控真空度、温度等参数，确保符合工艺规范。

f.镀膜完成后，逐步降低温度，关闭加热系统。

g.在设备冷却至室温后，开启真空泵，逐步恢复设备至大气压。

h.取出镀膜材料，检查镀膜质量，如有问题，根据情况进行返工或报告。

2.作业方式：

a.操作人员应按照设备操作手册进行操作，不得随意更改操作步骤。

b.操作过程中应密切观察设备运行状态，发现异常立即停止操作。

c.作业时保持专注，避免因分心导致误操作或安全事故。

d.作业结束后，清理工作区域，关闭设备，确保安全。

3.异常处置：

a.如发现真空度无法达到要求，应立即检查真空系统，查找泄漏点并进行修复。

b.若设备出现故障，应立即停止操作，按照设备维护规程进行处理。

c.温度异常时，应调整加热系统，确保温度稳定在工艺要求范围内。

d.镀膜过程中出现材料脱落、涂层不均匀等情况，应暂停操作，检查原因并进行调整。

e.遇到紧急情况，如火灾、触电等，应立即启动应急预案，采取相应措施进行处置。

4.记录与报告：

a.操作人员应详细记录操作过程中的各项参数和发现的问题。

b.如发现设备故障或质量问题，应立即报告相关部门，并填写故障报告。

c.定期对操作记录进行分析，总结经验，持续改进操作流程。

四、操作过程中设备的状态

1.正常状态指标：

a.真空度：设备在运行过程中，真空度应稳定在工艺要求的范围内，通常应低于10^-3Pa。

b.温度：加热系统运行时，温度应均匀且稳定，符合工艺参数设定值，通常应控制在工艺规定的±5℃范围内。

c.压力：设备内外压力差应保持恒定，压力波动应在允许的范围内。

d.电流和电压：设备供电稳定，电流和电压应与设定值相符，无异常波动。

e.噪音和振动：设备运行时应无异常噪音和振动，运行平稳。

f.气流：抽风系统和排风系统应正常运行，确保设备内部气体流动良好。

2.异常现象识别：

a.真空度下降：可能是真空系统泄漏、泵故障或阀门未关闭导致的。

b.温度过高或过低：可能是加热系统故障、温度控制系统失灵或材料放置不当引起的。

c.电流或电压异常：可能是供电系统问题