基于差动电容传感器的微动定位系统设计.pdfVIP

•106•《测控技术》2017年第36卷第12期

基于差动电容传感器的微动定位系统设计

范贤光，阙靖，王昕，许英杰，吴腾达，陈军

(厦门大学航空航天学院，福建厦门361005)

摘要：设计并加工了一种结构简单、小巧的微动定位系统，该系统精度较高、扫描范围大且成本低廉。采

用簧片结构设计系统的机械结构，使用压电陶瓷作为执行器件，使用差动电容传感器作为位移反馈，实

现闭环控制，从而有效克服了压电陶瓷执行器件的迟滞和蠕变效应。介绍了微动定位系统的机械组成

和差动电容传感器信号检测电路的工作原理，并对系统进行了测试和标定实验。实验结果显示：该平台

能够实现15pm的扫描，精度约为15nm,且动态性能良好。

关键词：差动电容传感器；压电陶瓷；纳米定位

中图分类号:TH703.65文献标识码:A文章编号：1000-8829(2017)12-0106-04

DesignofMicro-DrivePositioningSystemBasedonDifferential

CapacitanceSensor

FANXian-guang,QUEJing,WANGXin,XUYing-jie,WUTeng-da,CHENJun

(SchoolofAerospaceEngineering,XiamenUniversity,Xiamen361005,China)

Abstract：Asimpleandcompactmicro-drivepositioningsystemisdesignedandmanufactured,andthesystem

isofhighprecision,widescanningscopeandlowcost.Themechanicalstructureofthesystemisdesignedwith

springstructure,anddrivenbypiezoelectricceramics,andthedifferentialcapacitancesensoistakenasdis-

placemenfeedbacktoachieveclosedloopcontrol,whicheffectivelycompensatesthehysteresisandcreepofpi­

ezoelectricceramicactuato.Thestructureofthesystema