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直线式时栅位移传感器原理与结构彭东林，等

直线式时栅位移传感器原理与结构

theLinearSensor

andStructureofTime

PrincipleGratingDisplacement

彭孽林1跨锡债1旅天侄1障荀丛1’2邪方墨1

(重庆理工走学机械检测技术与装备教育部工程研究中t心1，重庆400054；

合肥工业走学扳器科学与光电工程学院2．安徽合肥230009)

摘要：在已研制成功的囤时栅的基础上，开展了比阋分度应用范围更广的直线式时栅传感器的研究。直线式时栅基于直线电机原

理建立物理模型与数学模型。作为直线式对橱的理论基础和技术依据。提出了直线式时衍鹩机械结构型式，同时研究了增璧式时栅

的信号处理电路及软件系统。研究结果表明，该模块测量精度高于现有直线式传感嚣的中高档水平，具有较好的丁=艺性且成本低于

现有中低档直线式传感器。

关键词：时栅时间序列位移传感器测量辕度建模

中图分类号：TP273文献标志码：A

onresearchedandcircularlineartimesensorthatfeatureswider

Abstract：Baseddevelopedtimeon

successfullygrating。thestudygrating

basisofmotor

fieldsthancirculariscarriedandmathematicalmodelsareestablishedonthelinear

applicableindexingout．Physicalprinciple，

andused85thetheoreticalfoundatiunandcriteriaThemechanicalisthecircuit

technologicstructnra]patternproposed，andsj酬processing

ofincrementala／ethatmeasurementisthan

andsoftwaretimeresearched．Theresultofresearchindicatesthe

syslemgratingaccuracyhigher

thoseofandmiddlelineartimesell$orfl．whilethecostislowerthanmiddleandlowsensors．

existinghighgradegratingexistiaggrade

Timesensor

Measurement

Keywords：TimegratingsequenceDisplacementaccuracyModeling

量、温度等并列的人类最基本的被测物理量之一’40。而

0引言

圆分度只被认为是长度的一部分或者是一个特例；其

传统的光栅等传感器以均匀空伺刻划为测量基次，仅以机床行业为例，直线测量(．】(、’，、z三个