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点衍射干涉检测系统：光学结构参数优化与误差分析的深度探究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代光学领域，光学元件和系统的高精度检测至关重要。随着科技的飞速发展，对光学元件的表面质量、面形精度以及光学系统的波像差等参数的测量精度要求日益提高。点衍射干涉检测系统作为一种高精度的光学检测手段，在光学元件制造、光学系统装调以及微纳加工等领域发挥着不可或缺的作用。

点衍射干涉检测系统的基本原理是利用点光源产生的球面波作为参考波，与经过待测物体后的测试波发生干涉，通过分析干涉图样来获取待测物体的信息。这种检测方法具有极高的灵敏度和分辨率，能够实现亚纳米级别的测量精度，在微纳米尺度下的精密测量和加工领