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基于FTS的透镜阵列加工技术研究与装置实现

摘要

科技的发展带动现代仪器朝着光、机、电一体化的微结构趋势发展，透镜作为一种重要的光学元件在民用和军用工业领域都有着广泛的应用。用于高精密仪器设备中的透镜不仅要有优越的光学性能，而且也要有微型化和高集成化的结构，因此透镜微结构中的代表——透镜阵列便应运而生。随着对透镜阵列的应用要求不断提高，传统透镜的加工方法已经很难适用于透镜阵列的加工，因此国内外将目光投向了新的超精密加工方法。其中，基于快刀伺服技术（FTS）的复杂微结构加工具有高频响、高定位精度和高加工精度等突出优点，已然成为微车削加工的主流技术之一。目前，国外许多国家已经成功运用该项技术加工出了高精度的透镜阵列元件，相关产品已应用于工业领域，而国内对该技术的研究起步较晚，对于核心基础技术研究匮乏，加工后的产品质量存在明显差距。基于此，本文研究了基于FTS的透镜阵列加工技术及加工装置。

一、引言

在现代光学与光电子技术领域，透镜阵列作为关键光学元件，凭借其独特的光学性能与集成优势，在众多前沿应用中发挥着不可或缺的作用。从高端的航天遥感设备，其对图像分辨率与清晰度的极致追求依赖于透镜阵列对光线的精准调控；到新兴的虚拟现实（VR）/增强现实（AR）显示系统，为用户营造沉浸式视觉体验，需要透镜阵列实现紧凑高效的光学成像；再到生物医学成像中的细胞显微观测，透镜阵列助力获取高分辨率、低像差的微观图像，用于疾病诊断与研究。透镜阵列的应用不断拓展，对其加工精度、效率及性能的要求也日益严苛，传统加工手段在应对复杂微结构透镜阵列时愈发捉襟见肘，难以满足高精度、大规模生产的需求。

快刀伺服技术（FastToolServo，FTS）作为超精密加工领域的前沿技术，以其卓越的高频响特性，能够在极短时间内精确调整刀具位置；高定位精度确保了加工过程中刀具定位的准确性，偏差控制在极小范围；高加工精度更是能够实现纳米级别的表面加工精度，为透镜阵列的复杂微结构加工提供了理想解决方案。国外在FTS技术的研究与应用方面起步较早，已成功将其应用于高精度透镜阵列元件的商业化生产，产品广泛应用于工业、医疗、通信等多个领域，占据了市场主导地位。而国内对FTS技术的研究尚处于追赶阶段，在核心技术掌握、工艺优化以及设备研发等方面与国际先进水平存在明显差距，这在一定程度上制约了我国相关高端产业的发展。因此，深入开展基于FTS的透镜阵列加工技术研究，开发具有自主知识产权的加工装置，对于提升我国光学制造产业的核心竞争力，推动相关领域技术进步具有重要的现实意义。

二、快刀伺服进给机构的设计

2.1驱动方式与导向机构选择

快刀伺服进给机构的驱动方式直接影响其动态响应特性与定位精度。在众多驱动方式中，压电陶瓷驱动凭借其高刚度、高分辨率以及快速的响应速度脱颖而出。压电陶瓷在施加电压时能够产生微米甚至纳米级别的精确位移，可满足透镜阵列加工中对刀具高频、高精度进给的要求。相比之下，传统的电机驱动方式虽然输出力较大，但响应速度较慢，难以适应复杂微结构加工中快速变化的进给需求。

导向机构作为保障刀具运动精度的关键部件，其性能对加工精度有着重要影响。气浮导轨导向机构以其无摩擦、高精度的运动特性成为理想选择。气浮导轨通过在导轨与滑块之间形成一层均匀的气膜，有效消除了机械摩擦带来的误差，使滑块能够实现近乎无阻力的平稳运动，从而为刀具提供高精度的运动导向。而滚珠丝杠导轨等传统导向机构，由于存在滚珠与丝杠之间的摩擦以及装配间隙，在高速、高精度运动时容易产生振动与定位误差，无法满足透镜阵列超精密加工的严苛要求。

2.2机械结构设计与尺寸确定

基于选定的驱动与导向方式，快刀伺服进给机构的机械结构设计需兼顾刚度、精度与紧凑性。采用一体化的结构设计理念，将压电陶瓷驱动器、气浮导轨以及刀具安装座等部件进行优化整合，减少连接环节，降低装配误差，提高整体结构刚度。通过有限元分析方法对机械结构进行仿真优化，模拟在不同工况下结构的应力、应变分布以及模态特性，据此对结构参数进行调整，确保结构在满足刚度要求的同时，具有良好的动态性能，避免在加工过程中因结构共振而影响加工精度。

在确定导向机构基本尺寸时，综合考虑加工行程、承载能力以及系统刚性等因素。根据透镜阵列的最大加工尺寸与所需的刀具行程范围，合理确定气浮导轨的长度。同时，依据刀具及负载的重量，选择合适规格的气浮滑块，确保导轨能够提供足够的承载能力，维持稳定的气膜厚度，保证刀具在高速运动过程中的精度与稳定性。对于压电陶瓷驱动器的选型，根据所需的输出位移量与推力大小，选取合适型号的压电陶瓷元件，并通过合理的预紧方式，提高其输出刚度与可靠性。

2.3柔性铰链系统仿真设计与校核

柔性铰链作为连接刀具与驱动机构的关键部件，其性能对刀具的运动精度与动态响