使用EECS240 0.18μm CMOS工艺设计电阻器与MOM电容器.pdfVIP

加利福尼亚大学电气工程与计算机科学系

E.Alon作业#1解答EECS240

使用EECS2400.18μmCMOS工艺完成所有作业和项目，除非另有说明。SPICE模型和运行模拟器的说明可在课

程上找到。

1.我们在工艺中构建的每个电阻器都会有一些寄生电容。正如我们在课堂上将要讨论的那

样，尽可能减小电阻器的宽度可以最小化其寄生电容。然而，在某些应用中（如终端电阻器或用于

静电放电保护的球压电阻器），电阻器不仅需要具有特定的值，还必须能够处理一定量的电流。为

了使电阻器能够在多年内可靠工作，通常会有一个每单位宽度的最大允许电流——例如，当前

CMOS技术中的许多金属层的额定值为1mA/μm。

a.假设你需要一个阻值为Rspec的电阻器，通过它的电流为Ispec。给定电阻器的电流密度可靠

性限制为I（单位：A/m），该电阻器需要多宽和多长？假设电阻器由每平方电阻率为R

maxsq

（单位：Ω/□）的材料制成。

解答：

R=

spec

sq

R·(L/W)W

Ispec/Imaxspec

specsqmaxR

IL=RI



b.根据你在a部分的，忽略边缘场效应，并假设电阻器对基板有寄生平行板电容密度Cpar

2

（单位：F/m），这个电阻器的RC时间常数如何依赖于Rspec和Ispec？

解答：

CtotCpar·W·L

IRI

specspecspec

RC·RC

spectotspecparIRI

maxsqmax

R2I2

specspec

RC·totC

specpar

RI