面向平面目标的静电吸附式抓取技术.pdfVIP

2025年04月机电工程技术Apr.2025

第54卷第08期MECHANICALELECTRICALENGINEERINGTECHNOLOGYVol.54No.08

DOI:10.3969/j.issn.1009-9492.2025.08.019

黄廷阳，王青，信涛，等.面向平面目标的静电吸附式抓取技术［J］.机电工程技术，2025，54（08）：100-103.

面向平面目标的静电吸附式抓取技术*

※

黄廷阳，王青，信涛，张凯，刘超，赵一凡

（西安工程大学机电工程学院，西安710048）

摘要：为实现工业生产中对平面型目标的智能抓取和转移，研究一种基于静电吸附技术的抓取方式。首先，对静电极板的电极类

型进行选型，并结合Maxwell应力张量法，建立一种五层二维静电吸附力理论模型；其次，采用COMSOLMultiphysics软件分析了

静电极板部分结构参数对静电吸附力的影响规律；最后，制备了静电极板，搭建了静电吸附力测量平台，对不同平面目标上的静

电吸附力进行了实验测量，并与仿真结果进行了对比分析。研究结果显示:（1）被吸附目标和静电极板绝缘层的介电常数均和静电

吸附力成正相关性，而绝缘层厚度则和静电吸附力呈负相关性；（2）在电极设计时，正负电极间距和电极宽度应保持在比例1.79

左右，以最大化静电吸附力；（3）激励电压的平方和静电吸附力成正比，因此增大激励电压是提高静电吸附力的有效手段；（4）实验

数据与仿真结果吻合度较好，验证了仿真方法的有效性，同时实验结果也证明将该静电吸附技术用于实现平面目标抓取是可行的。

关键词：平面目标；静电极板；Maxwell应力张量法；静电吸附力；绝缘层；介电常数

中图分类号：TP24文献标志码：A文章编号：1009-9492（2025）08-0100-04

ResearchonElectrostaticAdsorptionGraspingTechnologyforPlanarObject

HuangTingyang，WangQing，XinTao，ZhangKai，LiuChao，ZhaoYifan

（CollegeofMechanicalandElectricalEngineering,Xi’anPolytechnicUniversity,Xi’an710048,China）

Abstract:Inordertorealizeintelligentgraspingofplanarobjectsinindustrialproduction,agraspingmethodbasedonelectrostaticadsorption

technologyisstudied.Firstly,theelectrodetypeofelectrostaticpadisselected,andafive-layertwo-dimensionalelectrostaticadsorptionforce

theoreticalmodelisestablishedbasedonMaxwellstresstensormethod.Secondly,theinfluenceofsomestructuralparametersonthe

electrostaticadsorptionpropertiesisanalyzed.Finally,theelectrostaticpadisfabricatedandtheexperimentalplatformisbuilt.Basedonthis

platform,theelectrostaticadsorptionforcesondifferentplanartargetsaremeasured