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透射电子显微镜的研究与应用

一、透射电子显微镜概述

1、透射电子显微镜定义

透射电子显微镜(TransmissionElectronMicroscope,简称TEM),可以看到在光学\t/item/%E9%80%8F%E5%B0%84%E7%94%B5%E5%AD%90%E6%98%BE%E5%BE%AE%E9%95%9C/_blank显微镜下无法看清的小于0.2um的细微结构，这些结构称为亚显微结构或超微结构。要想看清这些结构，就必须选择\t/item/%E9%80%8F%E5%B0%84%E7%94%B5%E5%AD%90%E6%98%BE%E5%BE%AE%E9%95%9C/_blank波长更短的光源，以提高显微镜的分辨率。1932年Ruska发明了以电子束为光源的透射电子显微镜，电子束的波长要比可见光和紫外光短得多，并且电子束的波长与发射电子束的\t/item/%E9%80%8F%E5%B0%84%E7%94%B5%E5%AD%90%E6%98%BE%E5%BE%AE%E9%95%9C/_blank电压平方根成反比，也就是说电压越高波长越短。目前TEM的分辨力可达0.2nm。

2、透射电子显微镜的结构

透射电子显微镜是一种高性能的大型精密电子光学仪器，它是以电子束为照明源，以磁透镜来成像，具有分辨率高，放大倍数大，应用广泛的特点。它对电源、照明源、真空度、机械稳定性均有较高的要求，其基本结构可分为电子光学系统、真空系统和电子学系统。其基本工作原理是在真空条件下，由电子枪发出的电子束经高压加速后形成一电束极细的快速电子束流。当它入射到样品表面时，与样品物质的原子核及核外电子相互作用后，能产生多种带有样品信息的散射电子。根据散射中能量是否发生变化，分为弹性散射和非弹性散射。其中弹性散射电子与透射电子镜显微镜成像密切相关，是电子衍射谱、衍射衬度像和相位衬度成像的基础，经多级电磁透镜放大后，最终激发荧光屏，产生强度不同的光，形成能用肉眼观察的电子显微图像。而非弹性散射损失的能量会转变成其他信号，如X射线、二次电子、阴极荧光、俄歇电子等。这些信号可用于样品的化学元素分析，如能谱分析、电子能量损失谱分析或表面观察。透射电子显微镜结构如图1所示。

图1透射电子显微镜结构示意图

二、透射电子显微镜的发展现状

\t/item/%E9%80%8F%E5%B0%84%E7%94%B5%E5%AD%90%E6%98%BE%E5%BE%AE%E9%95%9C/_blank恩斯特·阿贝最开始指出，对物体细节的分辨率受到用于成像的光波\t/item/%E9%80%8F%E5%B0%84%E7%94%B5%E5%AD%90%E6%98%BE%E5%BE%AE%E9%95%9C/_blank波长的限制，因此使用\t/item/%E9%80%8F%E5%B0%84%E7%94%B5%E5%AD%90%E6%98%BE%E5%BE%AE%E9%95%9C/_blank光学显微镜仅能对微米级的结构进行放大观察。通过使用由奥古斯特·柯勒和莫里茨·冯·罗尔研制的\t/item/%E9%80%8F%E5%B0%84%E7%94%B5%E5%AD%90%E6%98%BE%E5%BE%AE%E9%95%9C/_blank紫外光显微镜，可以将极限分辨率提升约一倍。然而，由于常用的玻璃会吸收紫外线，这种方法需要更昂贵的石英光学元件。当时人们认为由于光学波长的限制，无法得到亚微米分辨率的图像。

1858年，\t/item/%E9%80%8F%E5%B0%84%E7%94%B5%E5%AD%90%E6%98%BE%E5%BE%AE%E9%95%9C/_blank尤利乌斯·普吕克认识到可以通过使用磁场来使\t/item/%E9%80%8F%E5%B0%84%E7%94%B5%E5%AD%90%E6%98%BE%E5%BE%AE%E9%95%9C/_blank阴极射线弯曲。这个效应早在1897年就由曾经被费迪南德·布劳恩用来制造一种被称为\t/item/%E9%80%8F%E5%B0%84%E7%94%B5%E5%AD%90%E6%98%BE%E5%BE%AE%E9%95%9C/_blank阴极射线示波器的测量设备，而实际上早在1891年，\t/item/%E9%80%8F%E5%B0%84%E7%94%B5%E5%AD%90%E6%98%BE%E5%BE%AE%E9%95%9C/_blank里克就认识到使用磁场可以使阴极射线聚焦。后来，汉斯·布斯在1926年发表了他的工作，证明了制镜者方程在适当的条件下可以用于电子射线。

1928年，柏林科技大学的高电压技术教授阿道夫·马蒂亚