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光学级金刚石膜高质量制备技术与性能优化研究

一、引言

1.1研究背景与意义

金刚石作为一种碳的同素异形体，拥有一系列无与伦比的优异性能，使其在众多领域展现出巨大的应用潜力。从力学性能来看，金刚石是自然界中硬度最高的材料，其维氏硬度可达10000kg/mm2左右，这一特性使其在切割、磨削、钻探等领域成为理想的刀具和耐磨材料。例如，在机械加工中，金刚石刀具能够高效地切削各种高硬度的非铁合金材料和复合材料，显著提高加工精度和效率，同时延长刀具的使用寿命。

在热学性能方面，金刚石具有极高的热导率，高达20W/cm?K左右，约为铜的5倍。这使得金刚石在热管理领域发挥着关键作用，尤其是在