WO2025140348A1 压力传感器及其制造方法、压力传感组件 （京东方科技集团股份有限公司）.docxVIP

(12)按照专利合作条约所公布的国际申请

(19)世界知识产权组织国际局

(43)国际公布日

2025年7月3日(03.07.2025)

WIPOIPCT

(10)国际公布号

WO2025/140348A1

(51)国际专利分类号：

G01L1/14(2006.01)

(21)国际申请号：PCT/CN2024/142466

(22)国际申请日：2024年12月25日(25.12.2024)

(25)申请语言：中文

(26)公布语言：中文

(30)优先权：

PCT/CN2023/141987

2023年12月26日(26.12.2023)CN

(71)申请人：京东方科技集团股份有限公司(BOETECHNOLOGYGROUPCO.,LTD.)[CN/CN];中国北京市朝阳区酒仙桥路10号100015(CN)。北京京东方传感技术有限公司(BEIJINGBOESENSORTECHNOLOGYCO.,LTD.)[CN/CN];中国北京市大

兴区北京经济技术开发区西环中路8号2幢C区3层C-301,C-302100176(CN)。北京京东方技术开发有限公司(BEIJINGBOETECHNOLOGYDEVELOPMENTCO.,LTD.)[CN/CN];中国北京市大兴区北京经济技术开发区地泽路9号1幢407室100176(CN)。

(72)发明人：郭伟龙(GUO,Weilong);中国北京市大兴区北京经济技术开发区地泽路9号100176(CN)。

魏秋旭(WEI,Qiuxu);中国北京市大兴区北京经济技术开发区地泽路9号100176(CN)。李月(LI,Yue);中国北京市大兴区北京经济技术开发区地泽路9号100176(CN)。王立会(WANG,Lihui);中国北京市大兴区北京经济技术开发区地泽路9号100176(CN)。张韬楠(ZHANG,Taonan);中国北京市大兴区北京经济技术开发区地泽路9号100176(CN)。何娜娜(HE,Nana);中国北京市

(54)Title:PRESSURESENSORANDMANUFACTURINGMETHODTHEREFOR,ANDPRESSURESENSINGASSEMBLY

(54)发明名称：压力传感器及其制造方法、压力传感组件

31(30)

31(30)

33(30)

H3

12A(12)

100

图28

12B(12)

(57)Abstract:Apressuresensor,comprisingasubstrate(100);atleastonesecondelectrode(12)ofacapacitorprovidedonthesubstrate

(100),whereintheatleastonesecondelectrode(12)isprovidedwithreleaseholes(121),acavity(13)isformedbetweentheatleastonesecondelectrode(12)andthesubstrate(100),andtheatleastonesecondelectrode(12)isarrangedaroundthesidewallfthecavity

WO2025/140348A1(13);andaholesealinglayer(30),whereintheholesealinglayer(30)isarrangedattheperipheryofthecavity(13),andtheholesealinglayer(30)coversthereleaseholes(121)andatleastpartofthesurfaceoftheatleastonesecondelectrode(12)awayfromthesubstrate

WO2025/140348A1

(100).Thepresentinventionfurtherdisclosesamanufacturingmethodforthepressuresensorandapressuresensingassembly.

(57)摘要：一种压力传感器，包括衬底