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基于显微视觉的微纳尺度3D检测方法：技术、应用与展望

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科学与工业领域，微纳尺度制造以其高精度、高复杂度的特点，成为推动众多前沿技术发展的关键力量。从微电子器件中不断缩小尺寸以追求更高性能的芯片，到生物医学领域用于疾病诊断与治疗的微型传感器和纳米药物载体，微纳尺度制造的应用无处不在。在半导体制造中，芯片上的晶体管尺寸已经进入纳米级别，这使得芯片能够集成更多的功能，提升计算速度和降低功耗。而在生物医学领域，微纳制造的微型生物传感器可以实现对生物分子的高灵敏度检测，为早期疾病诊断提供可能。

传统的检测方法在面对微纳尺度的高精度检测需求时，逐渐显露出其局限性。