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掺杂与复合调控SnO2基陶瓷的介电性能研究.pdf

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    摘要

    随着微电子行业的快速发展，电介质材料受到了广泛关注。此类材料因其出

    色的介电性能，成为目前的研究热点。介电材料有正介电材料和负介电材料两

    类，两者分别在电容及电感器件上有广泛的应用前景。本论文以金红石型SnO2

    为研究对象，分别通过掺杂不同的异质离子以及复合导电材料对其介电性能进行

    调控与优化，探究掺杂与复合对其相结构、微观形貌以及介电性能的影响。主要

    研究内容如下：

    1.采用传统固相法制备了(Sb,Mn)掺杂的SnO2陶瓷。单掺Sb的Sn0.97Sb0.03O2

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