氧化锌薄膜体声波谐振器传感器及系统：原理、设计与应用探索.docxVIP

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2026-01-16 发布于上海
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氧化锌薄膜体声波谐振器传感器及系统：原理、设计与应用探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的时代，传感器作为获取信息的关键部件，广泛应用于各个领域，从日常生活到工业生产，从医疗健康到环境监测，其重要性不言而喻。随着对传感器性能要求的不断提高，开发高性能、高灵敏度、小型化且多功能的传感器成为了研究的热点。氧化锌薄膜体声波谐振器（ZincOxideFilmBulkAcousticWaveResonator，ZnOFBAR）作为一种新型的传感器技术，因其独特的性能优势，在传感器领域展现出了巨大的潜力，对现代传感技术的发展起到了重要的推动作用。

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