G11掩膜版可用于制备高世代线显示面板我国市场国产化进程加快.doc

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G11掩膜版可用于制备高世代线显示面板我国市场国产化进程加快

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掩膜版，指能够将电路图案通过光刻技术转移到其他基材上的工具。G11掩膜版，指基板平坦度≤20μm，基板尺寸为1620×1780×17mm，图形精度±0.20μm的光掩膜版。G11掩膜版具备化学性能稳定、热膨胀系数低、技术集成度高、尺寸大等特点，在G

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