CN112534540B 用于检查和-或处理样品的设备和方法 （卡尔蔡司Smt有限责任公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN112534540B(45)授权公告日2025.07.08

(21)申请号201980051063.0

(22)申请日2019.06.19

(65)同一申请的已公布的文献号

申请公布号CN112534540A

(43)申请公布日2021.03.19

(30)优先权数据

102018210098.52018.06.21DE

(85)PCT国际申请进入国家阶段日

2021.01.29

(86)PCT国际申请的申请数据

PCT/EP2019/0662352019.06.19

(87)PCT国际申请的公布数据

WO2019/243437EN2019.12.26

(73)专利权人卡尔蔡司SMT有限责任公司地址德国上科亨

(72)发明人C.鲍尔M.布达赫

(74)专利代理机构北京市柳沈律师事务所

11105

专利代理师王蕊瑞

(51)Int.CI.

H01J37/28(2006.01)

G01Q20/00(2006.01)

G01Q30/02(2006.01)

(56)对比文件

CN102084431A,2011.06.01

CN103429526A,2013.12.04

审查员孙宁宁

权利要求书2页说明书25页附图26页

(54)发明名称

用于检查和/或处理样品的设备和方法

(57)摘要

本发明涉及用于检查和/或处理样品(400、

2010)的设备(2400、2600),所述设备包括：(a)用于提供带电粒子束(840)的扫描粒子显微镜

CN112534540B(2410),该带电粒子束可以被指引在样品(400,2010)的表面上；(b)具有可偏转探针(200、500、800、900、1000、1100、1200、1300、1500、1600、1640、1670、2600)的扫描探针显微镜(2470);(c)其中，检测结构(230、530、1030、1130、1330、1530、1630、1690、2630)附接到可偏转探针(200、500、800、900、1000、1100、1200、1300、1500、1600、1640、1670

CN112534540B

200

CN112534540B权利要求书1/2页

2

1.一种用于检查和/或处理样品的设备，所述设备包括：

a.用于提供带电粒子束的扫描粒子显微镜，所述带电粒子束能够被指引在所述样品的表面上；和

b.具有可偏转探针的扫描探针显微镜；

c.其中，检测结构附接到所述可偏转探针，

d.其中，所述设备适配于通过将所述带电粒子束定位于所述检测结构上并检测来自所述检测结构的带电二次电子和背向散射电子中的至少一者的发射来确定所述可偏转探针的偏转。

2.根据权利要求1所述的设备，其中，所述扫描粒子显微镜配置为实行：在所述检测结构之上扫描所述带电粒子束。

3.根据权利要求2所述的设备，其中，所述扫描粒子显微镜配置为实行：在所述检测结构之上实行所述带电粒子束的线扫描。

4.根据前述权利要求中任一项所述的设备，其中，所述检测结构的材料成分不同于所述可偏转探针的材料成分。

5.根据权利要求1或2所述的设备，其中，所述检测结构具有圆柱形、圆锥形、杆状或n边形的结构，其中n≥3。

6.根据权利要求1或2所述的设备，其中，所述检测结构包括具有不同原子数的至少两个分开的相邻材料。

7.根据权利要求1或2所述的设备，其中，所述检测结构包括检测区域，所述检测区域配置为优化带电二次电子和/或背向散射电子的发射。

8.根据权利要求1或2所述的设备，其中，所述检测结构包括至少一个面状元件，并且其中，所述面状元件的法向矢量被指引为实质上平行于所述可偏转探针的纵轴。

9.根据权利要求8所述的设备，其中，所述检测结构包括至少两个面状元件，所述面状元件沿着所述可偏转探针的纵轴布置。

10.根据权利要求1或2所述的设备，其中，所述检测结构包括至少一个标记。

11.根据权利要求1所述的设备，还包括光学光指针系统，其中，所述检测结构包括反射结构，所述反射结构配置为反射所述光学光指针系统的光学辐射，并且其中，所述反射结构相对于所述可偏转探针的前侧以不同于零的角度布置。

12.根据权利要求1或2所述的设备，其中，所述可偏转探针具有开口，所述开口实施为使得所述带电粒子束能