原创力文档《热加工工艺》2020年1月第49卷第2期
C2H2流量对阴极弧沉积AlTiCN涂层结构和性能的影响
魏朝晖1,马立安1,洪丽华1,张奇龙2
(1.福建工程学院材料科学与工程学院,福建福州350108;2.明志科技大学材料科学与工程系,台湾新北24301)
摘要：采用阴极弧技术制备了AlTiCN纳米复合薄膜，利用场发射电镜、X射线光电子能谱仪、纳米压痕仪、球盘式摩擦磨损实验机和电化学工作站研究了C2H2流量对AlTiCN薄膜微结构、硬度、摩擦特性及耐腐蚀性能的影响。结果表明：AlTi(C,N)薄膜在C
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