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真空测量习题试卷及答案

考试时间：______分钟总分：______分姓名：______

一、选择题（每题2分，共20分。请将正确选项的字母填在题后的括号内）

1.下列哪个单位通常用于表示高真空区域的压强？（）

A.毫巴(mbar)

B.托(Torr)

C.帕斯卡(Pa)

D.微巴(μbar)

2.在真空测量中，热偶真空计主要测量的是什么物理量来指示压强？（）

A.气体分子的电离电流

B.金属丝的电阻变化（与温度相关）

C.气体分子的碰撞频率

D.真空系统的剩余气体种类

3.以下哪种真空泵最适合用于获得超高真空？（）

A.机械泵

B.油扩散泵

C.涡轮分子泵

D.旋片泵

4.当使用复合真空计时，如果总压读数下降，而某个特定范围的读数（如10^-3Torr范围）保持不变或上升，这通常表明什么？（）

A.真空系统达到了该范围仪器的测量极限

B.真空系统可能存在油蒸气污染

C.真空系统中的某种气体开始大量解吸

D.该范围真空计本身损坏

5.真空度的划分（低、中、高、超高真空）主要是基于什么参数？（）

A.真空系统的体积大小

B.真空计的种类

C.压强的大小范围

D.抽气时间的长短

6.麦克劳真空计属于哪种测量原理的真空计？（）

A.热学原理

B.电离原理

C.力学原理（测量气体分子撞击活塞产生的压强）

D.共振原理

7.在真空获得系统中，机械泵通常作为哪种泵使用？（）

A.离子泵

B.前级泵

C.高真空泵

D.扩散泵

8.以下哪项不是评价真空计性能的重要指标？（）

A.测量范围

B.灵敏度

C.价格昂贵程度

D.精度

9.漏气对真空测量结果的主要影响是？（）

A.使测量读数偏高

B.使测量读数偏低

C.导致测量读数不稳定或波动增大

D.对测量读数影响很小

10.真空环境对电子器件的影响之一是？（）

A.提高器件的绝缘性能

B.导致器件氧化加剧

C.减少器件的漏电流

D.可能引起器件放电或击穿（因场强效应）

二、填空题（每空1分，共15分。请将答案填在横线上）

1.1标准大气压（atm）约等于_______Torr，也等于_______Pa。

2.真空测量中常用的压强单位换算关系是：1Torr=_______mmHg=_______Pa。

3.用于测量低真空区域压强的热传导型真空计通常被称为_______真空计。

4.扩散泵工作时需要加热，其工作气体通常是_______，它会在泵内壁形成一层冷凝膜以实现抽气。

5.真空系统达到稳定真空状态时，其内部气体分子的平均自由程通常_______（大于/小于）系统的特征尺寸。

6.电离真空计通过测量气体分子_______后产生的离子电流来指示压强。

7.真空泵的抽速是指单位时间内泵能从给定体积中抽出气体的_______。

8.对于一个给定的真空系统，其极限真空度主要取决于系统中最主要的_______。

9.检测真空系统漏率常用的方法之一是使用_______进行熏蒸检测。

10.真空环境可以分为不同等级，例如超高真空（UHV）通常指压强在_______Pa量级。

三、判断题（每题1分，共10分。请将“正确”或“错误”填在题后的括号内）

1.热偶真空计的读数会受到真空环境中气体种类的影响。（）

2.机械泵可以直接连接到大气，无需任何前级泵。（）

3.Pirani真空计是一种电离真空计。（）

4.真空度越高，气体分子间的碰撞就越频繁。（）

5.任何真空计都可以在其整个测量范围内保持相同的精度。（）

6.油扩散泵的抽气速率在开始阶段会随着压强的降低而下降。（）

7.真空系统的漏率单位通常用Pa·L/s或mbar·L/s表示。（）

8.涡轮分子泵可以在接近大气压的压强下工作。（）

9.真空环境中，残留气体主要是氮气和氧气。（）

10.真空获得的基本原理是利用泵将气体从系统中移除。（）

四、计算题（共3题，共35分）

1.（10分）已知某真空系统当前压强为5×10^-3Torr，需要将其抽至1×10^-5Tor