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《真空技术术语》国家标准修订发展报告

EnglishTitle:DevelopmentReportontheRevisionofNationalStandard“VacuumTechnology—Vocabulary”

摘要：

本报告旨在系统阐述《真空技术术语》国家标准修订工作的背景、意义、核心内容及其对行业发展的深远影响。随着真空技术在过去四十年的迅猛发展，其在航空航天、半导体制造、新能源、生物医药等前沿领域的应用不断深化与拓展，涌现出大量新技术、新设备与新概念。然而，现行国家标准GB/T3163-2007所修改采用的国际标准年代久远（源自1981年），已严重滞后于当前技术实践，存在术语缺失、定义陈旧、层次不清及表述错误等问题，导致学术界交流、技术沟通和产业应用兼容性面临障碍。本次修订工作旨在全面梳理和更新真空技术术语体系，系统性地纳入如“超清洁真空”、“复合涡轮分子泵”等新兴术语，重新划分真空区域，修正关键术语定义，并优化术语结构框架。修订后的标准将作为真空技术领域最基础、最权威的规范性文件，不仅为科研、生产、教学和贸易提供统一、准确的语言基础，还将有力支撑现行及未来真空技术系列标准的制修订与对标达标工作，提升我国真空产业的国际竞争力与话语权，对推动行业标准化、规范化、国际化发展具有里程碑式的重要意义。

关键词：

真空技术；术语标准；标准修订；国际对标；标准化体系；技术规范；行业基础

Vacuumtechnology;Terminologystandard;Standardrevision;Internationalalignment;Standardizationsystem;Technicalspecification;Industryfoundation

正文

一、修订背景与紧迫性

术语标准是任何技术领域的基础性、先导性标准，它统一了行业语言，是科研创新、生产制造、技术交流、国际贸易和教学传播的基石。对于真空技术这样一个跨学科、应用广泛的高技术领域而言，一套精准、完备、与时俱进的术语体系更是至关重要。

现行国家标准《GB/T3163-2007真空技术术语》主要修改采用了国际标准ISO3529:1981。该国际标准发布至今已逾四十年。在这四十年间，全球科技革命浪潮汹涌，真空技术本身及其应用生态发生了翻天覆地的变化：

1.技术迭代加速：在真空获得方面，干式真空泵（如螺杆泵、爪式泵）、复合涡轮分子泵、非蒸散型吸气剂泵等技术已从实验室走向大规模工业应用；真空测量技术也向更高精度、更宽量程、更智能化的方向发展，如电容薄膜计、磁悬浮转子计等广泛应用。

2.应用领域极大拓展：真空技术已深度融入国民经济主战场和尖端科技领域。从传统的照明、包装，到现代的半导体集成电路制造、平板显示、航空航天推进系统、高能粒子加速器、核聚变装置、太阳能薄膜电池、锂电材料制备、生物制药的冷冻干燥等，对真空环境提出了“超清洁”、“无油”、“极高真空”等前所未有的苛刻要求。

3.国际标准持续更新：国际标准化组织（ISO）已于2021年发布了全新的ISO3529-1:2021和ISO3529-2:2021，对真空技术术语进行了全面、系统的更新与重构，反映了最新的国际共识与技术进展。

相比之下，GB/T3163-2007的内容已严重滞后：一方面，大量新兴技术和应用产生的关键术语（如“超清洁真空”）缺失，导致技术描述困难；另一方面，部分原有术语的定义已不符合当前的技术理解，甚至存在表述错误或层次划分不清的问题。这种术语体系的不统一与滞后，已在学术界造成交流障碍，在产业界影响技术兼容与国际贸易，成为制约我国真空技术高质量发展的潜在瓶颈。因此，对《真空技术术语》国家标准进行系统性修订，已是一项迫在眉睫、关乎行业长远发展的战略性任务。

二、修订的核心目标与主要内容

本次修订工作严格遵循国家标准制修订程序，以技术发展的客观需求为导向，以与国际先进标准接轨为原则，旨在构建一个科学、系统、开放、实用的现代真空技术术语体系。

主要修订内容包括：

1.系统性更新与扩充术语库：

*新增术语：积极吸纳过去四十年间得到业界广泛认可和应用的新技术术语。例如，在真空获得部分，增加了“隔膜真空泵”、“螺杆真空泵”、“爪式真空泵”、“复合涡轮分子真空泵”、“机械增压真空泵”等干式和高效泵型的明确定义；在真空测量部分，引入了“电容薄膜真空计”、“磁悬浮转子真空计”、“离子阱质谱仪”等先进测量仪器的术语；针对高端应用，明确了“超清洁真空”等关键概念。

*修订关键定义：对真空技术的核心基础概念进行了重新审视和精确定义。例如，对“真空”、“真空压力”、“极限压力”、“体积流率”、“压缩比”等基础术