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484微连接与纳米连接

19.10参考文献

19高温超导体连接485

486微连接与纳米连接

19高温超导体连接487

488微连接与纳米连接

作者信息：GZOU，TsinghuaUniversity，P.R.China

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形状记忆合金连接

20.1简介

形状记忆合金（SMA）已经成为工程界流行的智能材料。然而，自发现形状记忆效应以来，花费了很长时间才把形状记忆合金实际应用到不同的领域。SMA实际应用的关键在于以下两个因素：一是发现了具有高可加工性的称为镍钛诺的Ni-Ti系合金；二是TiNi系SMA不同加工工艺的成熟，如滚轧、拉拔和连接工艺。随着这些方面的发展，SMA已经成为实际应用的流行智能材料，包括服装、眼镜、电子产品和医疗产品。为了将SMA合金进一步应用到更先进的产品上，开发微米级的制造工艺是必要的。本章将简要回顾近些年在SMA合金微连接上的研究。

20.2形状记忆合金基础

形状记忆效应（SME）指材料通过加热返回到预先设定形状的现象。形状记忆相变的第一次报道是由Chang和Read在1932年金-镉（Au-Cd）的可逆相变中观察到的[1]。同样的现象在In-Tl[2，3]合金上报道后，Buechler等人在称为镍钛诺的镍-钛合金系统中发现了SME[4]。本质上，镍钛诺是含大约50%（摩尔质量）镍和50%（摩尔质量）钛的合金。在50:50比率附近的微小成分变化都会使合金的工作特性发生很大变化。SMA中有两种晶体相：在高温下稳定的强奥氏体相和在低温下稳定的弱马氏体相。这两种相在晶体结构上不同，奥氏体具有体心立方晶体结构，而马氏体具有单斜晶体结构（非对称的）和超过24种变异结构。当马氏体的SMAs承受外部应力时，它们通过一种称为去孪晶的机理变形把不同的马氏体变异相变为一种能容纳最大延展的特定变异。由于马氏体相的单斜晶体结构，它比较容易变形。奥氏体相只有一个允许的变形方向而对外部应力表现较强的抗力。

现在已经发现了很多类型的形状记忆合金，其中镍钛诺具有优越的热机和热电特性

490微连接与纳米连接

而成为最普遍使用的SMA[5]。镍钛诺SMA有两个独特的性质，形状记忆效应和伪弹性。伪弹性指的是SMA能经受大量的非弹性变形并在卸载后恢复原有形状的现象。图20.1

图20.1镍钛诺在加载和卸载测试时典型的应力/应变曲线

为镍钛诺经过加载和卸载测试时典型的应力/应变曲线。伪弹性镍钛诺显现出比较大然而可以完全恢复的应变。在合适的加工工艺下，镍钛诺可以显现出高达8.0%的可恢复应变。虽然“弹性”一词被用来描述这一现象，它在国际冶金学定义中并不属于弹性范畴，反而是一种能导致自恢复宏观变形的马氏体相变。这些独特的性质源于SMA的可逆相变。这一相变发生时的应力大约是恒定的，所以在应力/应变曲线上可

以见到平台。图20.2为NT-E4形状记忆合金在加热和冷却过程中示差扫描量热仪

图20.2通过加热和冷却NT-E4形状记忆合金获得的DSC曲线

20形状记忆合金连接491

图20.2通过加热和冷却NT-E4形状记忆合金获得的DSC曲线（续）

（DSC）确定的相变行为。冷却过程中的放热峰区和加热过程中的吸热峰区分别对应马氏体和逆相变。

除了形状记忆效应和伪弹性外，Ni-Ti系SMA具有许多理想的性质，如高的强度重量比、高阻尼容量、高功率密度、固态驱动