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扫描电子显微镜技术ScanningElectronMicroscope

报告内容：SEM的开展SEM的根本知识主要内容SEM的应用实例

IntroductionChallengesForward*1952年，英国工程师CharlesOatley制造出了一台扫描电子显微镜(SEM)。*我国1973年开始引进扫描电镜并开始自行研发和设计扫描电SEM的开展镜的*1965第一部商用SEM出现〔Cambridge)

SEM的SEM的根本知识结构与原理扫描电镜作为近代研究外表微观世界的一种全能电子光学仪器，是一个浓缩了电子光学技术、真空技术、精细机械结构以及现代计算机控制的复杂系统。信号检测放大系统真空系统电源系统电子光学系统SEM的结构组成SEM

SEM的结构与原理SubText利用电子束作为照明源，电子束经过聚焦，变成极细〔φ5nm以下〕电子探针，在试样外表作光栅状扫描，其高能量电子与所分析试样物质相互作用，从而产生各种信息，而这种信息的强度和分布又同试样的外表形貌、成分、晶体取向以及外表状态等因素有关，通过采集和原理：处理这些信息，并利用计算机技术加以处理，便可以获得表述试样形貌的扫描电子图像或者进行成分分析与结晶学分析。

二次电子入射电子样品原子核样品核外电子二次电子二次电子是SEM的成像信号,代表样品外表结构特点能量低，2-3ev；仅在试样外表10nm层内产生；分辨率很高，对试样外表状态敏感与样品形貌密切相关，图像景深大、立体感强。(secondaryelectrons,SE)

SEM的结构与原理背散射电子〔backscatteringelectrons,BE〕样品原子核样品核外电子入射电子背散射电子弹性BE非弹性BE能量高，大于50ev；产生范围深，产额随原子序数的增加而增加；分辨率较低，与样品形貌有关。作为成像信号，分析形貌特征；显示原子序数衬度，定性成分分析。

SEM的结构与原理特征X射线〔X-ray〕原子的内层电子受到激发以后，在能级跃迁过程中直接释放的具有特征能量和波长的一种电磁波辐射。用X射线探测器测到样品微区中存在某一特征能量或波长，就可以判定该微区中存在的相应元素。X射线能谱EDS信号产生的深度和广度范围比较大，对于固体具有很强的穿透能力。X-ray

SEM的结俄歇电子〔Augerelectrons,Aue〕原子内层电子能级跃迁过程中释放出来的能量⊿EX-ray形式释放用该能量将核外另一个电子打出，脱离原子变为二次电子，成为Aue.由试样外表几个有限原子层发出，在外表1nm层内产生，适用于外表化学成分分析。俄歇电子能谱

SEM的主要特性SEM特性直接观察大尺寸试样原始外表观察不规那么试样各区域细节景深长，图像富有立体感图像放大倍率在较大范围内可调分辨率远远优于普通光学显微镜试样受损伤和污染程度小

SEM的结构与原理成分分析Aue成分分析特征X-ray成分分析BE形貌分析SESEM的主要信号及其功能总结：

SEM根本参数放大率在SEM中，是通过控制扫描区域的大小来控制放大率的。如果需要更高的放大率，只需要扫描更小的一块面积就可以了。放大率=屏幕／照片面积除以扫描面积。场深在SEM中，位于焦平面上下的一小层区域内的样品点都可以得到良好的会焦而成象。这一小层的厚度称为场深，通常为几纳米厚，所以，SEM可以用于纳米级样品的三维成像。

SEM根本参数作用体积电子束不仅仅与样品表层原子发生作用，它实际上与一定厚度范围内的样品原子发生作用，所以存在一个作用“体积”。作用体积的厚度因信号的不同而不同：次级电子：5λ，对于导体，λ=1纳米；对于绝缘体，λ=10纳米。背散射电子：10倍于次级电子。特征X射线：微米级。X射线连续谱：略大于特征X射线，也在微米级。

SEM根本参数工作距离工作距离指从物镜到样品最高点的垂直距离。工作距离↑，其他条件不变的情况下获得更大的场深。工作距离↓，其他条件不变的情况下获得更高的分辨率。通常使用的工作距离在20毫米到25毫米之间。

SEM对样品的要求SEM对样品的要求无毒，无放射性物质不能是有机挥发物，不含水分物理、化学性质稳定外表受到污染的样品提前进行清洗和烘干磁性样品先去磁样品外表无需处理，保持原始结构状态粉末样品要适量，不宜过多块状样品大小适宜，不宜过大样品高度限制在5-10mm

SEM对样品的要求对样品进行到电镀膜处理；使用导电胶将其固定在样品台上不导电或导电性差的样品，在电子束的作用下会产生电荷堆积，影响二次电子运动轨迹，降低图像质量SEM对样品的要求

SEM的应用(1)生物：种子、花粉、细菌……(2)医学：血球、病毒……(3)动物：