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基于数值模拟的硅单晶直拉工艺参数对晶体品质影响研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代电子工业中，硅单晶无疑占据着举足轻重的地位，是半导体器件和集成电路的核心原材料。从日常使用的智能手机、电脑，到高端的航空航天设备，硅单晶在其中都扮演着关键角色，对信息技术的发展有着极为重要的影响。在半导体器件制造中，硅单晶凭借其良好的电学性能，成为制造晶体管、二极管等器件的基础材料，其质量直接决定了器件的性能和稳定性。在集成电路领域，硅单晶更是不可或缺，是实现芯片微型化、高性能化的关键支撑。随着科技的飞速发展，对硅单晶的质量和性能要求也在不断攀升，高质量的硅单晶需要具备高度的晶体完整性、极低的杂质含量