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多光子制备微纳结构及其材料：原理、应用与挑战

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的浪潮中，对微纳结构及其材料的制备与研究已成为众多领域取得突破的关键所在。微纳结构，作为尺寸处于微米至纳米量级的精细构造，凭借其独特的小尺寸效应、表面效应和量子尺寸效应等，展现出与宏观材料截然不同的物理、化学和生物学特性，在光学、电子学、生物医学、能源等诸多前沿领域中彰显出了巨大的应用潜力。

传统的微纳结构制备技术，如光刻技术、电子束光刻技术、纳米压印技术等，虽在一定程度上推动了微纳制造领域的发展，但也各自面临着诸多限制。例如，光刻技术受限于光的衍射极限，难以实现小于半波长尺度的结构制备；电子束