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低磷阻垢缓蚀剂.doc

低磷阻垢缓蚀剂.doc

    PAGE1

    低磷阻垢缓蚀剂

    制备实例

    原料

    配比（质量份）

    1#

    2#

    3#

    4#

    5#

    6#

    7#

    PBTCA

    4

    —

    3

    —

    5

    4

    4

    HPAA

    —

    5

    2.5

    5

    —

    —

    —

    T225

    26.7

    —

    26.7

    —

    20

    20

    60

    AA/AMPS/HPA

    —

    20

    —

    —

    —

    —

    —

    AA/AMPS

    —

    —

    —

    30

    —

    —

    —

    钼酸钠

    8

    —

    8

    —

    10

    15

    3

    钨酸钠

    —

    5

    —

    7

    —

    —

    —

    HEDP

    —

    —

    —

    —

    —

    —

    —

    七水合硫酸锌

    10.9

    —

    10.9

    8.8

    —

    10.9

    —

    氯化锌

    —

    4.2

    —

    —

    6.3

    —

    8.2

    水

    50.4

    65.

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