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·4·《测控技术~2010年第29卷第8期

硅微机械陀螺仪温度控制系统的PID算法实现

盛霞，王寿荣，陈淑铃，夏敦柱

(东南大学仪器科学与工程学院，江苏南京210096)

摘要：温度的变化对硅微机械陀螺仪的性能有较大的影响，对温度的稳定性控制有着重要意义。分析了

硅微机械陀螺仪的温度影响机理，通过对表头测试得到性能参数随温度变化的规律。介绍了PID控制

算法的基本概念，对其进行了系统仿真，并在实际的温控系统中完成了试验验证，试验结果表明利用

PID算法实现的温控系统具有良好的控制效果。

关键词：硅微机械陀螺仪；温度控制；PID算法

中图分类号：V241．5文献标识码：A文章编号：1000—8829(2010)08—0004—04

TemperatureControlSystemofSiliconMicromachinedGyroscope

RealizedbyPIDAlgorithm

SHENGXia，WANGShou—rong，CHENShu—ling，XIADun—zhu

(SchoolofInstrumentScienceandEngineering，SoutheastUniversity，Nanjing210096，China)

Abstract：Asthereisalargedropinsiliconmicromachinedgyroscope’Sperformancewhentemperaturechan-

ges，itissignificanttocontrolthestabilityofthetemperature．Analysisismadeonthegeneralinfluenceoftern—

peraturevariationonsiliconmicromachinedygroscope．Therelationshipsbetweenperfomranceparametersand

temperaturechangingarestudiedbysometestsonygroscopes．ThebasicconceptsofPIDcontrolalgorithmare

introduced，andsoftwaresimulationisca~iedout．Thenthecontroleffectistestifiedinarealistictemperature

controlsystem．ExperimentalresultsshowthatthetemperaturecontrolsystemrealizedbyPIDalgorithmhasan

evidentcontroleffect．

Keywords：siliconmicromachinedgyroscope；temperaturecontrol；PIDalgorithm

硅微机械陀螺仪是陀螺仪发展的一个重要方向，方式使陀螺仪工作的环境温度维持恒定。本文对第3

作为用于测量角速度的新型惯性器件，具有体积小、重种方法展开了研究，即对硅微机械振动陀螺仪系统进

量轻、易于数字化和智能化等优点。随着国内外研究行温度稳定性控制。为实现温度控制的精度，有必要

的深入，硅微陀螺仪已经达到一定的精度，但温度变化对控制算法进行研究，以达到精度高、稳定性好的温度

对其性能有着很大影响。控制效果。

温度变化不仅会引起陀螺仪结构尺寸及硅材料特

1陀螺仪的温度影响分析

性的变化，还会导致信号处理电路的干扰热噪声发生变

化，致使陀螺精度和稳定度得不到保证。因此，对硅如图1所示为东南大学自主研制的单质量z轴

微机械陀螺仪的温度稳定性进行研究具有重要意义。硅微机械陀螺仪