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硅一蓝宝石压力传感器温度补偿研究·1l3·

硅一蓝宝石压力传感器温度补偿研究

卢超，黄漫国，李欣。，郭占社

(1．北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院，北京100191；2．中航工业北京长城航空测控技术研究所，北京101111；

3．状态监测特种传感技术航空科技重点实验室，北京101111)

摘要：针对硅一蓝宝石压力传感器在测量过程中容易受温度影响的问题，提出了一种基于串并联恒定电

阻法和分段插值法的温度补偿方法；从硬件补偿电路和软件补偿算法两个方面论述了补偿方法的原理

及实现方法，并通过实验验证了该方法的可行性。实验结果表明，最终制成的硅一蓝宝石压力传感器最

大相对误差为0．357％，综合误差小于0．129％。

关键词：高温；硅蓝宝石；压力传感器；温度补偿

中图分类号：TP212．1文献标识码：A文章编号：1000—8829(2017)04—0113—04

ResearchonTemperatureCompensationofSilicononSapphirePressureSensor

LUChao，HUANGMan—guo。一LIXin一，GUOZhan．she

，

(1．SchoolofInstrumentationScienceandOpto—ElectronicsEngineering，BeihangUniversity，Beijing100191，China；

2．AVICBeijingChangchengAeronauticalMeasUrementandControlTechnologyResearchInstitute，Beijing101111，China；

3．AviationKeyLaboratoryofScienceandTechnoloygonSpecialConditionMonitoringSensorTechnoloyg，Beijing101111，China)

Abstract：Inordertosolvetheproblemthatthesilicononsapphire(SOS)pressuresensoriseasilyaffectedby

temperatureintheprocessofmeasurement，thetemperaturecompensationmethodbasedonseriesandparallel

constantresistancesandpiecewiseinterpol,~ionalgorithmisproposed．Theprincipleandrealizationofcompen—

sationmethodarediscussedfromtwoaspectsofhardwarecompensationcircuitandsoftwarecompensationalgo—

rithm，andthefeasibilityofthismethodisverifiedbyexperiments．Finally，themaximumrelativeerrorofthe

SOSpressuresensoris0．357％，andtheintegratederrorislessthan0．129％．

Keywords：hightemperature；silicononsapphire；pressuresensor；temperaturecompensation

高温压力传感器是传感器研究领域的一个热点，硅膜制成。由于隔离层的蓝宝石介质没有PN结，所

其广泛应用于航空航天、工业自控、石油勘探等复杂环以其工作温度可达350℃。

境下的压力测量。例如：高温油井内的压力测量、发动硅一蓝宝石压力传感器具有量程范围大等优

机腔体内的压力测量、高速飞行器耐热腔体和表面各点J。然而，它也