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公司半导体辅料制备工岗位设备操作规程

文件名称：公司半导体辅料制备工岗位设备操作规程

编制部门：

综合办公室

编制时间：

2025年

类别：

两级管理标准

编号：

审核人：

版本记录：第一版

批准人：

一、总则

本规程适用于公司半导体辅料制备工岗位设备操作，旨在确保操作人员的人身安全和设备正常运行。规程内容包括设备操作前的检查、操作过程中的注意事项、异常情况处理以及操作后的设备清洁和保养。所有操作人员必须熟悉并严格遵守本规程，确保生产安全、高效。

二、操作前的准备

1.防护用品穿戴规范：

操作人员进入作业区前，必须穿戴好个人防护装备，包括但不限于防尘口罩、防护眼镜、耳塞、工作服、防护手套和防静电鞋。长发需束起，避免接触设备或原料。

2.设备状态检查要点：

a.检查设备外观是否有损坏或磨损，特别是传动带、齿轮、螺丝等易损部件。

b.检查电气线路是否完好，绝缘是否良好，无裸露的电线或损坏的插头。

c.检查设备润滑系统，确保油位充足，润滑良好。

d.检查设备安全防护装置是否齐全有效，如急停按钮、安全栅栏等。

e.检查设备操作面板是否正常，按钮和指示灯功能完好。

3.作业环境的基本要求：

a.作业区应保持整洁，无杂物堆积，通风良好。

b.温度和湿度应控制在设备正常运行范围内。

c.确保作业区域照明充足，避免操作时产生盲区。

d.不得在设备附近存放易燃易爆物品或其他危险品。

e.设备操作区域应有清晰的警示标志和操作流程图。

三、操作的先后顺序、方式

1.设备操作流程步骤：

a.打开设备电源，检查所有指示灯是否正常点亮。

b.按照操作手册设置设备参数，包括温度、速度、压力等。

c.检查设备是否处于待机状态，确认无异常后开始作业。

d.逐步启动设备各部分，观察设备运行是否平稳。

e.加载原料，注意控制加料速度和量，避免过载。

f.启动搅拌或输送系统，监控运行状态。

g.作业过程中定期检查设备运行参数，确保在规定范围内。

h.作业完成后，关闭设备，清理工作区域。

2.特定操作的技术规范：

a.加料时，应均匀缓慢，避免原料飞扬。

b.操作阀门时，动作应平稳，避免冲击。

c.设备启动前，应先开启冷却系统，避免过热。

d.设备运行中，禁止打开防护罩，以免发生意外。

3.异常情况的处理程序：

a.发现设备异常声音或振动，立即停止设备，检查原因。

b.电气设备故障，应立即断电，通知维修人员处理。

c.设备泄漏，立即关闭泄漏源，使用防护措施处理泄漏物质。

d.操作人员受伤，立即停止作业，采取急救措施，并通知相关部门。

四、操作过程中机器设备的状态

1.正常状态指标：

a.设备运行平稳，无异常振动或噪音。

b.传动带、齿轮等运动部件运行顺畅，无卡滞现象。

c.电气设备工作正常，无火花、异味或过热。

d.温度、压力、流量等参数在设定范围内稳定。

e.安全防护装置如急停按钮、安全栅栏等均处于正常工作状态。

f.仪表显示准确，无异常报警。

2.常见故障现象：

a.设备运行时出现不规律的振动和噪音。

b.传动带、齿轮等部件出现卡滞或磨损严重。

c.电气设备出现火花、异味或温度异常升高。

d.温度、压力、流量等参数超出设定范围。

e.安全防护装置失效或无法正常启动。

f.仪表显示异常或报警。

3.状态监控方法：

a.通过听觉、视觉和触觉定期检查设备运行状况。

b.利用设备上的监控仪表实时监控各项参数。

c.记录设备运行数据，定期分析设备运行趋势。

d.对设备进行定期维护和检查，及时发现潜在问题。

e.培训操作人员，使其能够识别并报告异常情况。

f.建立故障档案，分析故障原因，防止重复发生。

五、操作过程中的测试和调整

1.设备运行时的测试要点：

a.定期检查设备各部件的运行状态，如电机、泵、阀门等。

b.测量设备温度、压力、流量等关键参数，确保其在规定范围内。

c.监测设备振动和噪音水平，评估设备的运行稳定性。

d.检查电气系统的稳定性和响应时间。

e.定期进行设备性能测试，如效率、精度等。

2.调整方法：

a.根据测试结果，对设备参数进行调整，如温度、速度、压力等。

b.检查并调整传动带张紧度，确保设备运行平稳。

c.更换磨损的零部件，如轴承、齿轮等。

d.校准仪表，确保读数准确。

e.调整安全防护装置，确保其在紧急情况下能够及时响应。

3.不同工况下的处理方案：

a.正常工况：保持设备运行参数稳定，定期进行维护和检查。

b.异常工况：立即停止设备，根据故障现象分析原因，采取相应措施。

-参数超出范围：调整设备参数，恢复正常范围。

-设备振动或噪音异常：检查并修复或更换