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VO?热致相变材料薄膜：制备工艺、性能剖析与应用前景探究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技飞速发展的背景下，智能材料因其独特的性能和广泛的应用前景，成为材料科学领域的研究热点。热致相变材料作为智能材料的重要分支，能够在温度变化时发生物理性质的显著转变，这种特性使其在智能传感、电子器件、建筑节能等诸多领域展现出巨大的应用潜力。

在智能传感领域，热致相变材料可用于制备高灵敏度的温度传感器。例如，基于热致相变机理与双电层电容原理制备的电容式柔性温度传感器，在人体体温范围内具有极高的分辨力(0.05℃)与响应速度(12s)，为可穿戴设备、人体生理参数监测等应用提供了新的解决方案。在电子器件方面，热致相变材料能够实现器件性能的动态调控，如用于制造智能开关、存储器件等，有助于提升电子器件的功能性和智能化水平。在建筑节能领域，热致变色智能节能窗利用热致相变材料在相变前后对光和热的不同传输特性，可根据环境温度自动调节室内采光和热量传递，有效降低建筑能耗，减少对传统能源的依赖。

二氧化钒(VO?)作为一种经典的热致相变材料，具有独特的物理性质。在大约68℃左右，VO?会发生金属-绝缘体相变，这一相变过程伴随着电学、光学等性质的急剧变化。在电学方面，其电阻率在相变前后可发生几个数量级的变化；在光学方面，对红外光的透过率和反射率也会发生显著改变。这些特性使得VO?在红外调制、热电、激光防护等领域具有重要的应用价值。例如，在红外光学器件中，利用VO?的相变特性可实现对红外光的动态调制，制备自适应红外开关、热伪装系统等；在激光防护领域，VO?薄膜可用于保护光电探测器免受激光致盲攻击，当激光照射导致温度升高时，VO?发生相变，从而改变对激光的透射率，实现防护功能。

然而，目前VO?材料在实际应用中仍面临一些挑战。一方面，VO?的相变温度相对较高，限制了其在一些对温度要求较为苛刻的场景中的应用，如室内智能温度调控等。因此，如何有效降低VO?的相变温度，使其能够在更广泛的温度范围内发挥相变特性，是亟待解决的问题。另一方面，VO?薄膜的制备工艺和性能优化仍有提升空间。不同的制备方法会对VO?薄膜的晶体结构、表面形貌和电学性能产生显著影响，如何通过改进制备工艺，获得高质量、性能稳定且具有特定功能的VO?薄膜，是当前研究的重点之一。此外，VO?材料的稳定性也是一个关键问题，由于V为多价元素，VO?中的+4价V离子受空气中水分、氧气等因素的影响易被氧化为+5价的V离子，从而导致热致变色薄膜的失效，这严重制约了其商业化应用。

本研究聚焦于VO?热致相变材料薄膜的制备及性能研究，旨在通过深入探究不同制备方法对VO?薄膜结构和性能的影响，优化制备工艺，提高薄膜质量和性能稳定性。同时，尝试通过元素掺杂等手段降低VO?的相变温度，拓展其应用范围。这不仅有助于加深对VO?材料物理性质和相变机理的理解，为其进一步的理论研究提供实验依据，而且对于推动VO?材料在智能传感、电子器件、建筑节能等领域的实际应用具有重要的现实意义，有望为相关领域的技术创新和发展提供新的材料解决方案。

1.2国内外研究现状

国内外学者对VO?薄膜的制备和性能展开了广泛而深入的研究，取得了一系列重要成果。

在制备方法方面，已发展出多种成熟的技术。磁控溅射法是常用的制备手段之一，如中国科学院上海技术物理研究所采用磁控溅射法制备二氧化钒薄膜材料，通过该方法能够精确控制薄膜的生长速率和成分，制备出的薄膜具有良好的均匀性和致密性。脉冲激光沉积（PLD）技术也备受关注，意大利罗马大学的研究人员利用PLD技术在金纳米片和连续金膜之间制造薄薄的VO?层，构建了用于中红外范围可调谐共振吸收的混合超构材料。此外，溶胶-凝胶法、化学气相沉积法等也在VO?薄膜制备中得到应用，不同的制备方法各有优劣，适用于不同的应用场景和研究需求。

在性能研究方面，众多学者围绕VO?薄膜的电学、光学、热学等性能进行了深入探究。在电学性能方面，研究发现VO?薄膜在相变温度附近电阻率会发生急剧变化，这种特性使其在热敏电阻、传感器等领域具有潜在应用价值。在光学性能方面，VO?薄膜在相变前后对红外光的透过率和反射率变化显著，可用于制备智能窗、红外开关等光学器件。例如，上海硅酸盐研究所研发的高质量柔性VO?薄膜在神经形态感内计算领域取得重要进展，通过模拟生物多模态感知功能，构建了柔性跨模态感内计算系统，展示了VO?薄膜在新型电子器件中的应用潜力。

然而，当前研究仍存在一些不足之处。一方面，部分制备方法存在工艺复杂、成本高昂等问题，限制了VO?薄膜的大规模生产和应用。例如，脉冲激光沉积技术虽然能够制备高质量的薄膜，但设备昂贵，制备过程中材料利用率较低