CN117554334A 一种氨气浓度与气压同测的光纤传感器及检测方法、制作方法 （上海大学）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN117554334A

(43)申请公布日2024.02.13

(21)申请号202311392080.5G02B6/255(2006.01)

(22)申请日2023.10.25

(71)申请人上海大学

地址200444上海市宝山区上大路99号

(72)发明人王廷云刘泽田黄怿邓传鲁

胡程勇张小贝

(74)专利代理机构贵州派腾知识产权代理有限

公司52114

专利代理师唐斌

(51)Int.Cl.

G01N21/45(2006.01)

G01N21/25(2006.01)

G01L11/02(2006.01)

B23K26/382(2014.01)

G02B6/25(2006.01)

权利要求书2页说明书5页附图3页

(54)发明名称

一种氨气浓度与气压同测的光纤传感器及

检测方法、制作方法

(57)摘要

本发明提供一种氨气浓度与气压同测的光

纤传感器及检测方法、制作方法。该传感器中包

括空芯石英毛细管(2)，空芯石英毛细管(2)侧壁

上存在微孔(8)，空芯石英毛细管(2)两端分别与

第一段单模光纤(1)、无芯光纤(3)相连接，其间

构成第一反射面(5)、空腔(6)以及第二反射面

(7)；无芯光纤(3)表面镀有氧化锌薄膜(9)，无芯

光纤(3)的另一端与第二段单模光纤(4)相连。该

传感器是一种能够实现高灵敏度、低串扰的气体

浓度和气压同时测量的光纤传感器，具有结构紧

凑，可重复性高的特点。

A

4

3

3

4

5

5

7

1

1

N

C

CN117554334A权利要求书1/2页

1.一种氨气浓度与气压同测的光纤传感器，包括空芯石英毛细管(2)，其特征在于：空

芯石英毛细管(2)侧壁上存在微孔(8)，空芯石英毛细管(2)两端分别与第一段单模光纤

(1)、无芯光纤(3)相连接，其间构成第一反射面(5)、空腔(6)以及第二反射面(7)；无芯光纤

(3)表面镀有氧化锌薄膜(9)，无芯光纤(3)的另一端与第二段单模光纤(4)相连。

2.根据权利要求1所述氨气浓度与气压同测的光纤传感器，其特征在于：所述空芯石英

毛细管(2)的内径为100μm，外径为160μm，长度为250μm，其中空腔(6)内为空气，折射率为1；

所述无芯光纤(3)无纤芯，包层直径为125μm，包层折射率为1.444，长度为58.23mm，其表面

的氧化锌薄膜(9)厚度为60～80nm，折射率为1.7342。

3.一种氨气浓度与气压同测的光纤传感器的制备方法，其特征在于：第一段单模光纤

(1)、空芯石英毛细管(2)、无芯光纤(3)与第二段单模光纤(4)端面切割平整后，依次进行熔

接，其中空芯石英毛细管(2)与无芯光纤(3)需采用精密切割刀对其长度进行精准控制；使

用飞秒激光加工技术对空芯石英毛细管(2)侧壁进行加工，制造微孔，形成空气微通道；对

微孔进行遮挡，以避免氧化锌在空芯石英毛细管(2)和两个反射面上沉积；采用原子层沉积

法在无芯光纤(3)表面上镀氧化锌薄膜(9)，通过沉积生长周期对膜厚进行精准控制。

4.一种氨气浓度与气压同测的光纤传感器检测方法，其特征在于：包括环形器、宽带光

源、光谱仪和权利要求1所述氨气浓度与气压同测的光纤传感器；环形器输入端连接至宽带

光源，两个输出端连接光纤传感器至光谱仪。

5.根据权利要求4所述的一种氨气浓度与气压同测的光纤传感器检测方法，其特征在

于：宽带光源的工作波长为470