抗振光干涉测试中相位测量原理与技术的深度剖析与实践探索.docx

抗振光干涉测试中相位测量原理与技术的深度剖析与实践探索

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代光学测量领域，抗振光干涉测试技术扮演着至关重要的角色。随着科学技术的迅猛发展，对于光学元件和系统的精度要求不断提高，光干涉测试作为一种高精度、非接触的测量手段，被广泛应用于光学表面检测、光学系统像质评价以及与光程差相关的物理量测量，如温度场、密度场等的分析。移相干涉术（PSI）作为光干涉测试中的关键技术，通过精确控制参考光程的变化，采集多幅干涉图的光强信号，进而由光强值精确推算出被测光程差值（位相值）。在理想的稳定环境下，其理论光程差（位相）的最小分辨率能够达到纳米（nm）量级，为光学测量提供了极