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缺陷层对铁电薄膜性质的多维度影响及调控机制研究

一、引言

1.1研究背景与意义

在现代科技迅猛发展的浪潮中，铁电薄膜凭借其独特且优异的性能，在众多关键领域发挥着举足轻重的作用，已然成为推动科技进步的核心材料之一。从微观层面来看，铁电薄膜是一类具有铁电性的薄膜材料，其晶体结构中的离子排列使得材料在一定温度范围内能够产生自发极化，并且这种极化方向可通过外加电场进行反转，呈现出电滞回线的特征。这一微观特性赋予了铁电薄膜丰富而卓越的宏观性能。

在微电子领域，铁电薄膜是构建铁电随机存取存储器（FeRAM）的关键材料。FeRAM利用铁电薄膜的铁电特性实现数据的存储，与传统的半导体存储器相比，具有非易