2026—2027年面向超净间环境的无尘化机器人自清洁表面与静电控制技术满足芯片制造最高标准获半导体设备与材料公司产业链投资.pptxVIP

;目录;;摩尔定律的物理极限与污染控制门槛的指数级提升：当线宽进入埃米尺度;自动化搬运与工艺设备内部成为主要污染源：移动机器人的“尘埃风暴”效应;静电危害升级：从灰尘吸附到电路击穿与量子干扰的致命威胁;产业链资本的嗅觉：为何设备与材料巨头将投资重心转向“辅助”技术;;粒子污染图谱的演变：从环境背景颗粒到设备内生颗粒的主导地位转变;空气分子污染物（AMC）的隐秘攻击：对光刻胶与栅极氧化层的化学腐蚀;静电吸附效应的放大：在超低粒子浓度环境下成为首要污染机制;传统洁净技术的三大失效区：气流组织盲区、材料脱气滞后与被动式静电控制的局限;;仿生超疏水与超亲水表面的精密设计：实现液滴与颗粒的自主滚落或