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智研咨询发布—中国等离子体射频电源系统行业产业链全景分析及发展趋势预测报告

内容概要：我国等离子体射频电源系统行业起步较晚，但近年来在国家政策的加持下发展迅速，据统计，2024年我国等离子体射频电源系统行业市场规模达123.3亿元，同比增长9.50%，未来，随着科技的持续进步和市场需求的日益增长，我国等离子体射频电源系统市场有望迎来更广阔的发展空间。

上市企业：英杰电气（300820）、北方华创（002371）

相关企业：MKSInstruments,Inc.、AdvancedEnergyIndustries,Inc.、深圳市恒运昌真空技术股份有限公司、江苏神州半导体科技有限公司、深圳市瀚强科技股份有限公司、深圳市广能达半导体科技有限公司

关键词：等离子体射频电源系统行业壁垒、等离子体射频电源系统市场政策、等离子体射频电源系统产业链图谱、等离子体射频电源系统市场规模、等离子体射频电源系统竞争格局、等离子体射频电源系统发展趋势

一、概述

等离子体射频电源系统是半导体制造中极其关键的专用电源系统，主要由等离子体射频电源和匹配器组成。等离子体射频电源是可以产生正弦波电压，工作频率范围一般处于3KHz至300GHz之间，具有一定功率的工艺电源。其核心作用是通过产生高频电场，在晶圆反应腔体内将特定工艺气体电离，创造并维持高活性、高能量的等离子体，并利用等离子体的特殊性能实现薄膜沉积、刻蚀、离子注入、清洗去胶、键合等复杂半导体工艺（薄膜沉积、刻蚀与光刻并称为芯片制造三大关键工序）。等离子体射频电源系统的性能直接影响薄膜沉积、刻蚀等环节中等离子体的成分浓度、均匀性和稳定性等，对于薄膜沉积的厚度、密度、应力、速率，以及刻蚀的选择性、方向性、速率、质量等至关重要，进而影响晶圆制造工艺的能力、良率和效率，等离子体射频电源系统在半导体制造核心装备中占据着核心位置。

等离子体在半导体各前道工艺中的应用（蓝框）

二、行业壁垒

半导体设备核心零部件是半导体设备技术更迭和制程演进的重要承载，在半导体工艺和芯片结构日趋复杂的背景下，半导体设备商对核心零部件厂商的要求更为严苛，包括对产品的可靠性、稳定性和一致性及核心零部件厂商的研发能力、技术实力。因此，半导体设备核心零部件行业的技术壁垒很高，等离子体射频电源系统作为薄膜沉积设备、刻蚀设备等半导体设备的核心零部件，技术要求极高，此外，由于半导体设备和产线结构的复杂性，各设备的良率、稳定性会对整个制造体系产生累积效应，设备零部件的瑕疵或问题可能引起巨额的潜在损失，因此半导体设备商及晶圆厂对于零部件的验证、验收有严苛的标准和流程，且在设备定型后，不会轻易更换机台上所使用的等离子体射频电源系统，以此满足半导体“精确复制”的管理模式，因此，半导体设备商及晶圆厂往往会选择长期合作的核心零部件供应商。

等离子体射频电源系统行业壁垒

三、市场政策

根据国家统计局发布的《国民经济行业分类》（GB/T4754—2017），等离子体射频电源系统属于“半导体器件专用设备制造”，行业代码为“C3562”。我国高度重视半导体等核心产业发展，相继出台《电子信息制造业2023—2024年稳增长行动方案》《河套深港科技创新合作区深圳园区发展规划》《产业结构调整指导目录（2024年本）》《关于加快数字经济高质量发展的意见》《贯彻实施〈国家标准化发展纲要〉行动计划（2024—2025年）》《关于做好2024年享受税收优惠政策的集成电路企业或项目、软件企业清单制定工作有关要求的通知》《中共中央关于进一步全面深化改革推进中国式现代化的决定》等一系列政策，大力推动等离子体射频电源系统行业进步。

中国等离子体射频电源系统行业相关政策

四、产业链

1、产业链结构

等离子体射频电源系统行业上游主要包括电容、MOSFET、芯片及模组等电子件供应商，功率模块等电气件供应商以及结构件等原材料供应商；行业中游为等离子体射频电源系统研发、制造等环节；行业下游为应用市场，涵盖半导体、光伏、显示面板等诸多领域。

中国等离子体射频电源系统行业产业链

2、上游

从上游成本结构来看，目前，包括电容、MOSFET、芯片及模组、功率模块、结构件在内的原材料占比最大，超70%，因此，等离子体射频电源系统企业需要与上游供应商建立长期稳定的战略合作关系，通过联合研发新材料、优化采购流程、批量集中采购等方式，降低原材料的采购成本，同时，要密切关注上游产业链的技术迭代和价格波动，提前布局关键原材料的储备与替代方案，以增强对成本的把控能力，从而在激烈的市场竞争中保持产品的价格优势和利润空间，为企业的持续发展奠定坚实基础。

2024年中国等离子体射频电源系统成本结构（%）

3、下游

从下游需求结构来看，目前，半导体为我国等离子体射频电源系统最大需求市场，占比超50%，半导体设备处于半导