CN117174768B 一种探测器、探测器制作方法及波前校正方法 （长春理工大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN117174768B(45)授权公告日2024.04.02

(21)申请号202311444038.3

(22)申请日2023.11.02

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN117174768A

(43)申请公布日2023.12.05

(73)专利权人长春理工大学

地址130022吉林省长春市卫星路7089号

(72)发明人郝群魏志鹏唐鑫陈梦璐

赵晓

(74)专利代理机构哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司23211

专利代理师刘景祥

(51)Int.CI.

HO1L31/0232(2014.01)

HO1L27/144(2006.01)

H01L31/18(2006.01)

G01J1/42(2006.01)

(56)对比文件

CN106257692A,2016.12.28

CN106847849A,2017.06.13

CN114447007A,2022.05.06

CN114899253A,2022.08.12

CN116759482A,2023.09.15

US2005133704A1,20