原创力文档薄膜物理3・1磁控溅射原理
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第三章
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3-1气体的放电现象与等离子体
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一、气体放电现象描述
气体放电是溅射过程的基础，所以首先讨论一下气体的
放电过程。
气体的直流放电
是在真空度为10~
lpa的稀薄气体中，两
个电极之间加上
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