CN114755535A 一种光纤法布里珀罗超声传感器及其制作方法 （上海大学）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN114755535A(43)申请公布日2022.07.15

(21)申请号202210219406.3

(22)申请日2022.03.02

(71)申请人上海大学

地址200000上海市宝山区上大路99号

(72)发明人王廷云牛锡玲黄怿邓传鲁胡程勇张小贝

(74)专利代理机构苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙)32257

专利代理师殷海霞

(51)Int.CI.

GO1R31/12(2006.01)

GO1H9/00(2006.01)

权利要求书2页说明书6页附图6页

(54)发明名称

一种光纤法布里珀罗超声传感器及其制作方法

(57)摘要

CN114755535A本发明涉及一种光纤法布里珀罗超声传感器及其制作方法，在传统石英膜片的基础上，利用光刻与氢氟酸腐蚀技术制备得到双面凹槽型的石英膜片，减小了石英膜片的中心厚度，石英膜片在受到超声波作用时能够产生更大的形变量，传感器对局部放电信号的捕捉更敏感和精确，提高了传感器灵敏度的同时也提高了膜片的固有频率，增加了传感器的频率探测范围；同时石英膜片上设置的多个矩形凹槽连通了法布里珀罗腔内外的空气，避免了温度升高后腔内气体膨胀导致的传感器测量误差；也便于外部环境气体进入法布里珀罗腔内，可以利用不同气体折射率变化判断环境气体变化，实现双参量传感；整

CN114755535A

CN114755535A权利要求书1/2页

2

1.一种光纤法布里珀罗超声传感器，其特征在于，包括：

石英膜片，所述石英膜片的一端设置有第一凹槽，另一端设置有多个第二凹槽；

石英管，沿所述石英管的长度方向设置有第三凹槽和第四凹槽，所述第三凹槽和第四凹槽相互连通，当所述石英膜片与所述石英管连接后，通过所述第二凹槽将石英膜片和第三凹槽形成的腔体与外界连通，使外界气体进入所述腔体中；

单模光纤，设置于所述第四凹槽内，所述单模光纤与所述石英膜片相邻的端面构成法布里珀罗腔的两个反射面。

2.根据权利要求1所述的光纤法布里珀罗超声传感器，其特征在于：所述石英管包括均为圆管状的第一石英管、第二石英管和第三石英管，所述第一石英管套设于单模光纤上，所述第二石英管套设于第一石英管上，所述第三石英管套设于第二石英管上，其中，所述单模光纤、第一石英管和第二石英管处于同侧的一端位于同一平面内，并与所述第三石英管构成所述第三凹槽。

3.根据权利要求1所述的光纤法布里珀罗超声传感器，其特征在于：所述单模光纤与第三凹槽相邻的端面上设置有第一增反膜，所述石英膜片与石英管连接的端面上设置有第二增反膜。

4.根据权利要求1所述的光纤法布里珀罗超声传感器，其特征在于：所述石英膜片呈圆柱状，所述石英膜片与石英管同轴设置。

5.根据权利要求1所述的光纤法布里珀罗超声传感器，其特征在于：所述第一凹槽同轴设置于石英膜片上。

6.根据权利要求4所述的光纤法布里珀罗超声传感器，其特征在于：多个所述第二凹槽以所在端面的圆心为中心对称设置。

7.一种如权利要求1-6任意一项所述的光纤法布里珀罗超声传感器的制作方法，其特

征在于：包括以下步骤，

将单模光纤插入第一石英管内，使单模光纤一端所在的平面与第一石英管的一端所在的平面齐平，并将单模光纤固定在第一石英管上；

将第二石英管套设于第一石英管上，使第一石英管和单模光纤齐平的一端与第二石英管的一端齐平，并将第二石英管固定在第一石英管上；

将固定后的第一石英管、第二石英管和单模光纤的组合体插入第三石英管内，使第三石英管的一端与组合体齐平的一端相互远离形成第三凹槽，并将第三石英管固定于第二石英管上；

将石英膜片设置有第二凹槽的一端与第三石英管紧密贴合，使石英膜片与石英管的第三凹槽组成腔体，并在贴合处将第三石英管和石英膜片固定在一起。

8.根据权利要求7所述的光纤法布里珀罗超声传感器的制作方法，其特征在于：通过显微镜调整所述第三石英管与组合体形成的第三凹槽的深度。

9.一种如权利要求7所述的光纤法布里珀罗超声传感器的制作方法的石英膜片的制作方法，其特征在于：包括以下步骤，

在石英膜片上均匀涂抹一层光刻胶，并对光刻胶进行烘干至其凝固；

根据第一凹槽和第二凹槽的形状及位置，在石英膜片的一个端面上光刻与第一凹槽对应图案以外的光刻胶区域，并在石英膜片的另一个端面上光刻与第二凹槽