CN114672860A 一种表面无凸起的电镀超薄切割砂轮的制作方法 （郑州磨料磨具磨削研究所有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN114672860A(43)申请公布日2022.06.28

(21)申请号202210202342.6

(22)申请日2022.03.03

(71)申请人郑州磨料磨具磨削研究所有限公司地址450001河南省郑州市高新区梧桐街

121号

(72)发明人董峰邵俊永王战闫贺亮

乔帅栗云慧刘建双窦文海杨双陈月涛高鹏

(74)专利代理机构郑州联科专利事务所(普通合伙)41104

专利代理师杨海霞

(51)Int.CI.

C25DC25D

C25D

3/12(2006.01)5/48(2006.01)

7/00(2006.01)

C25D5/34(2006.01)

C25D5/44(2006.01)

C25D15/00(2006.01)

权利要求书1页说明书4页附图2页

(54)发明名称

一种表面无凸起的电镀超薄切割砂轮的制

作方法

(57)摘要

CN114672860A本发明涉及一种表面无凸起的电镀超薄切割砂轮的制作方法：将精加工过的铝合金轮毂基体组装模具后进行电镀预处理，包括：除油清洗-水洗-氧化层去皮-水洗-酸洗除灰-水洗-无氰浸锌溶液一次浸锌-水洗-退锌-水洗-无氰浸锌溶液二次浸锌-水洗；将电镀预处理过的铝合金轮毂基体浸入含有金刚石微粒的电镀溶液中使基体外圆3-4mm处沉积镍基-金刚石复合镀层；去除表面的镍基金属凸起和浮沙修整镀层外圆，将复合镀层靠近刀片的铝合金基体边缘浸入氢氧化钠溶液中腐蚀掉，使复合镀层暴露出300-700um长度，形成刀刃。该方法使刀片在切割过程避免

CN114672860A

CN114672860A权利要求书1/1页

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1.一种表面无凸起的电镀超薄切割砂轮的制作方法，其特征在于，包括如下步骤：

1)电镀预处理：将精加工过的铝合金轮毂基体组装模具后进行电镀预处理，包括：除油清洗-水洗-氧化层去皮-水洗-酸洗除灰-水洗-无氰浸锌溶液一次浸锌-水洗-退锌-水洗-无氰浸锌溶液二次浸锌-水洗；

所述的无氰浸锌溶液组成为：氧化锌10-30g/L,氢氧化钠100-200g/L,氯化铁3-6g/L,氯化镍10-20g/L,硫酸铜3-5g/L,酒石酸钾钠60-100g/L,柠檬酸钠20-40g/L;

2)形成复合镀层：将电镀预处理过的铝合金轮毂基体浸入含有金刚石微粒的电镀溶液中使基体外圆3-4mm处沉积镍基-金刚石复合镀层；

3)将镍基-金刚石复合镀层表面的镍基金属凸起和浮沙去除，修整镀层外圆，将复合镀层靠近刀片的铝合金轮毂基体边缘浸入氢氧化钠溶液中腐蚀掉，使复合镀层暴露出300-700um长度，形成刀刃。

2.如权利要求1所述表面无凸起的电镀超薄切割砂轮的制作方法，其特征在于，步骤1)中，精加工过的铝合金轮毂基体平面度小于等于0.002mm。

3.如权利要求1所述表面无凸起的电镀超薄切割砂轮的制作方法，其特征在于，步骤1)中，除油清洗工序选用的除油清洗液组成为：氢氧化钠4-8g/L,碳酸氢钠2-10g/L,硅酸钠7-15g/L。

4.如权利要求1所述表面无凸起的电镀超薄切割砂轮的制作方法，其特征在于，步骤1)中，氧化层去皮选用浓度8-15g/L的NaOH水溶液。

5.如权利要求1所述表面无凸起的电镀超薄切割砂轮的制作方法，其特征在于，步骤1)中，酸洗除灰、退锌均选用含六亚甲基四胺的硝酸溶液，六亚甲基四胺浓度0.1-0.3g/L。

6.如权利要求1所述表面无凸起的电镀超薄切割砂轮的制作方法，其特征在于，步骤2)中，电镀镀液中的金刚石微粒为1-15um的金刚石磨料。

7.采用权利要求1至6任一所述制作方法制备得到的表面无凸起的电镀超薄切割砂轮。

CN114672860A说明书1/4页

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一种表面无凸起的电镀超薄切割砂轮的制作方法

技术领域

[0001]本发明属于电镀超硬磨具制造技术领域，具体涉及一种表面无金属异物凸起的电镀超薄切割砂轮的制作方法，同时利用该制作工艺杜绝了含氰化学品的使用，降低了制造过程中化学品处理难度。

背景技术

[0002]电镀超薄切割砂轮，又称划片刀，用于在半导体晶圆制造过程中对半导体晶圆进行精密、高效、