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基于短相干光源的动态斐索干涉仪关键技术及应用研究

一、引言

1.1研究背景与意义

动态斐索干涉仪作为一种基于斐索干涉原理实现测量物体表面形貌的仪器，凭借其高精度、高灵敏度、全息性和非接触性等显著优点，在众多领域发挥着关键作用。在制造业中，它可用于精密零件的表面质量检测，确保产品符合严格的精度标准，提升产品质量和生产效率；航空航天工程里，能够对飞行器的关键部件进行高精度检测，保障飞行安全；生物医学领域，有助于研究生物组织的微观结构和动态变化，为疾病诊断和治疗提供有力支持；纳米技术方面，对于纳米级材料和器件的表征不可或缺，推动纳米科技的发展。

传统的斐索干涉仪通常采用连续波激光作为光源，然而，这