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CVD与PVD阴极技术综合测试.docVIP

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  • 2026-02-03 发布于浙江
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CVD与PVD阴极技术综合测试.doc

    CVD与PVD阴极技术综合测试

    一、判断题

    1.在PECVD设备中，腔盖部分称为阴极，加热板称为阳极。

    对

    错

    答案：对

    解析：PECVD设备中，腔盖作为阴极用于施加射频电场，加热板作为阳极用于接地和加热基板。

    2.安装布气盒时，四角水平要求≤3mm。

    对

    错

    答案：对

    解析：布气盒水平度直接影响气体分布均匀性，≤3mm是确保工艺稳定的关键标准。

    3.定位环安装时需使用酒精无尘布清洁燕尾槽安装面。

    对

    错

    答案：对

    解析：酒精无尘布可有效去除油污和颗粒，确保定位环安装面洁净，避免污染腔体。

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