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激光雷达中二维MEMS微镜驱动技术：原理、应用与创新发展

一、引言

1.1研究背景与意义

随着科技的飞速发展，激光雷达（LiDAR,LightDetectionandRanging）作为一种重要的传感器技术，在众多领域中发挥着关键作用，其重要性愈发凸显。在自动驾驶领域，激光雷达通过发射激光束并接收反射信号，能够生成厘米级精度的三维点云数据，为自动驾驶车辆提供精确的环境感知能力，成为实现高级别自动驾驶不可或缺的核心传感器，是自动驾驶系统的“眼睛”。据佐思汽研统计，2024年激光雷达装机量达到152.9万颗，同比增长245.4%，这一增长不仅得益于技术的进步，更与成本的降低密切相关。在复杂交通场景中，特别是在L3级及以上自动驾驶技术中，激光雷达的高精度感知能力为车辆的安全行驶提供了重要保障，被视为确保安全的底线。同时，激光雷达在机器人领域也有着广泛的应用，如在人形机器人、移动机器人、配送机器人等中，用于避障和导航、地图构建、目标检测和识别以及自主操作和抓取等任务。通过扫描周围的环境，激光雷达可以生成机器人所在环境的三维地图，提供精确的距离和方向信息，帮助机器人检测周围的障碍物，判断物体的类型和位置，从而规划最优的路径并及时做出决策，在感知、导航、定位和三维重建等方面发挥着重要作用。东吴证券发布的研究报告显示，预计2022-2030年，机器人激光雷达市场规模将从82亿元增长至2162亿元，CAGR（复合年均增长率）高达50.5%。

在激光雷达系统中，二维MEMS微镜作为操纵光束扫描的核心执行器，对于提升激光雷达的性能起着关键作用。它能够实现对光束的快速调节，通过精确控制微镜的角度和位置，改变光束的传播方向，从而实现激光束的二维图案化扫描，提升激光雷达探测的准确性。与传统的机械旋转式激光雷达相比，以二维MEMS微镜为核心的扫描执行器件可进一步优化激光雷达系统体积和成本和能耗，提高系统的集成程度。单个MEMS微镜就可以实现激光束的二维图案化扫描，等效的多线激光扫描的竖直方向分辨率更高且相较于多组激光发射接收模组的性价比更高。然而，当前二维MEMS微镜在驱动技术方面仍面临一些挑战，如扫描视场有限、微镜光学口径较小、驱动效率不高以及在复杂环境下的稳定性不足等问题，这些问题限制了激光雷达性能的进一步提升以及其在更多领域的广泛应用。因此，深入研究二维MEMS微镜驱动技术，对于突破现有技术瓶颈，提升激光雷达的性能，推动其在自动驾驶、机器人等领域的更广泛应用具有重要的现实意义。

1.2国内外研究现状

在国外，许多科研机构和企业在二维MEMS微镜驱动技术方面开展了大量的研究工作，并取得了一系列重要成果。美国的一些研究团队在静电驱动二维MEMS微镜方面进行了深入探索，利用静电驱动的低功耗和快速响应优势，研发出了适用于小型化激光雷达系统的微镜器件。他们通过优化微镜的结构设计和电极布局，有效提高了微镜的扫描角度和精度，但其高电压要求在一定程度上限制了应用范围。欧洲的科研人员则在电磁驱动二维MEMS微镜研究上取得了进展，电磁驱动在偏转角度和线性响应方面表现优异，他们通过改进磁体和线圈的设计，实现了微镜更大角度的偏转和更稳定的驱动，但增加了产品的复杂性和成本。此外，日本在压电驱动二维MEMS微镜技术上也有一定的研究成果，压电驱动具有低驱动电压和低功耗的优点，然而，由于沉积压电材料层的复杂性，其制造工艺复杂且占位面积大。

在国内，众多高校和科研院所也积极投身于二维MEMS微镜驱动技术的研究。一些团队针对静电驱动微镜的高电压问题，提出了新型的驱动电路和控制算法，以降低驱动电压并提高驱动效率。同时，在电磁驱动微镜方面，通过采用新型磁性材料和优化磁路设计，在提高微镜性能的同时努力降低成本和复杂度。此外，国内研究人员还开始关注混合驱动技术，尝试将不同驱动方式的优点结合在一起，提升微镜的整体性能，如开发结合静电和热电驱动的微镜，力求在响应速度、功耗和驱动范围之间取得平衡。

尽管国内外在二维MEMS微镜驱动技术方面取得了一定的成果，但仍存在一些不足之处。现有驱动技术在扫描视场、光学口径、驱动效率以及稳定性等方面难以同时满足激光雷达日益增长的高性能需求。在不同驱动技术的兼容性和协同工作方面，还需要进一步深入研究。而且，对于微镜在复杂环境下的可靠性和耐久性研究还相对较少，这对于其在实际应用中的长期稳定运行至关重要。

1.3研究方法与创新点

本论文主要采用以下研究方法：一是文献研究法，通过广泛查阅国内外关于二维MEMS微镜驱动技术的相关文献，全面了解该领域的研究现状、发展趋势以及存在的问题，为后续研究提供理论基础和研究思路。二是实验研究法，搭建二维MEMS微镜驱动实验平台，对不同驱动